FANUC AC SERVO MOTOR #*s series
FANUC AC SPINDLE MOTOR #* series
FANUC SERVO AMPLIF IER #* series
维修说明书
B65325CM01





































· 说明书容方式复制
· 参数指标设计时修改恕行通知

试图说明书中描述情况
然必做做情况存种性没描述
说明书中没特描述情况视情况
B65325CM01 安全
s1
安全

您更安全公司伺服电机轴电机伺服放器（βi SVM βi
SVPM）公司已相应注意事项写入安全中请电机
放器前仔细阅读安全
外关电机放器项功请参阅篇请完全理解基础正确

安全中没记录事项原禁止操作关
方面事项请操作前预先公司进行联系

目录
11 警告注意注释s2
12 FANUC AC SERVO MOTOR βis series
FANUC AC SPINDLE MOTOR βi series s3
121 警告 s3
122 注意 s5
123 注释 s6
13 FANUC SERVO AMPLIFIER βi series s8
131 安装时警告注意s8
1311 警告s8
1312 注意s9
1313 注释s10
132 试运行时警告注意s11
1321 警告s11
1322 注意s12
133 维护时警告注意s13
1331 警告s13
1332 注意s14
1333 注释s14

安全 B65325CM01

s2
11 警告注意注释

安全中保证操作员身安全防止机床损坏关安全
注意事项根安全方面重程度正文中警告注意
描述
关补充说明注释描述
前必须熟读警告注意注释

警告
适：果错误操作导致操作员死亡受重伤

注意
适：果错误操作导致操作员受轻伤者损坏设备

注释
指出警告注意外补充说明

※ 请仔细阅读说明书加妥善保 B65325CM01 安全
s3
12 FANUC AC SERVO MOTOR βis series
FANUC AC SPINDLE MOTOR βi series

121 警告

请穿着安全服进行电机操作作业
时候会棱角突出部分造成碰伤触电等事确保安全请
穿戴手套安全鞋等

移动电机时请起重机等器械
电机较重搬动容易腰部受损万坠落伤危险
必通起重机等器械进行移动（关电机重请参阅规格说明
书）
起重机等器械进行移动时果电机装吊钩孔槽时必须
吊钩电机请布制绳索果电机安装机床时请
电机钓钩进行移动样做会钓钩电机受损伤

接线作业时请首先确认电源否已断开
触电非常危险

请认真接线保证动力线连接牢固
端子果松缓状态运行话端子台会异常发热终导致
火灾发生外端子果脱落引起接障短路触电等事
发生关端子台安装动力线短横杆紧固扭矩说明书中已
记载参阅相关容

请确保电机切实接
防止触电事发生请确保端子箱线接头机床线已切
实连接

请电机动力线端子接时相互短路
触电烧毁绕组危险
※ 某电机中需绕组切换等特殊连接详情请参阅电机规格说
明书

请确保电机通电时候端子处封闭状态
手者导电物慎接触时触电危险

请危险品电机
电机连接高压电路外电机易发热果燃物旁边话容
易导致火灾甚爆炸非常危险
安全 B65325CM01

s4
电机旋转时候请触碰旋转部分
电机旋转程中卷入衣服手指造成身伤害外电机
旋转前请确认没旋转飞散物存（钥匙等）

沾水手请接触电机
触电非常危险

请关掉电源接触电机
电机工作状态端子间存电压危险
特接触电源连接部分时候触电危险需采取充分预防措
施

切断电源段时间（5 分钟）请接触端子
电源切断短时间动力端子间高压存请接触
设备连接导致触电损伤

请指定放器参数驱动电机
果实施错误安装者驱动会导致电机失控扭矩等异常情况发
生电机机床受损伤外度旋转会导致工件刀具等
物品四处飞散伤者非常危险

切断电源段时间（30 分钟）请接触生放电单元
工作中发热会导致生放电单元产生高温避免烫伤充分冷
前请勿接触生放电单元

请 EN602041 标准进行机床设计组装
确保机床安全性符合欧洲标准请 EN602041 标准进行机床
设计组装关机床细节请参阅规格说明书
B65325CM01 安全
s5
122 注意

请接触运行中刚刚停止电机
运行时发出热会导致电机产生高温避免烫伤电机充分冷前
请勿接触电机

请注意风扇电机卷入头发衣服等物
安装风扇电机型号风扇吸气时特需注意
外电机停止工作放器通电中风扇电机运转需
引起操作者注意

公司电机机床请做途
果场合达预期效果会带必麻烦
果想途请事先公司取联系

请确保电机安装部分足够强度
电机重量物品果安装强度够会导致精度够等障发生

请切实进行电机周边零部件安装
电机运行程中果发生电机零部件偏移者脱落危险事
情

请正确连接电缆
错误连接导致异常发热异常运行障原外请适容
量（粗细）电缆关连接方法等详情请参阅规格说明书

需强制冷电机请切实作冷处理工作
没完成良冷导致障出现原进行风冷时候请注意防
止垃圾灰尘引起堵塞进行液冷时候请注意液量防止
道堵塞总什场合需定期清洁检修

轴安装滑轮等惯性轮时候请量减衡量
衡量容易导致异常振动电机损伤等情况发生

带 Key 轴电机必须 Key
带 Key 轴电机果 Key 运行会导致扭矩传递强度够衡等问
题出现电机产生障 安全 B65325CM01

s6
123 注释

请站者坐电机
样会导致电机变形损坏外电机拆封堆放

请常温(0～40℃)置干燥（没结露）场进行保存
电机零部件会受损者劣化外保存时候轴水放置端子
箱放端

请拆毁标牌
标牌脱落时注意保果知道电机规格会法维护果
置轴电机必须附加轴

请电机受击损伤
样会电机零部件带利影响导致电机正常运转
外塑料部分传感器绕组等部件属易损件操作时候需十分
心特避免利塑料部分绕组动力线抬起电机

请检测器进行耐压试验绝缘试验（兆测试）
样做破坏电机部结构

请 IEC60034 记载条件进行电机试验（绕组电阻绝缘电阻等）
果超 IEC60034 求苛刻条件进行试验会导致电机受损伤

请拆卸电机
导致障原
果维护等需拆散时候请务必公司专业员取联系

请改造电机
请公司指定部分外改造电机造成障原

请适环境条件电机
适环境条件容易产生障事关环境条
件等详情请参阅规格说明书

请商业电源直接接入电机
果直接接入商业电源会导致电机绕组烧损必须通指定放器连
接

请附带端子箱型号导孔设置指定场
必须进行开孔作业型号进行开孔作业时注意划伤擦坏零
部件详情请参阅规格说明书
B65325CM01 安全
s7
电机前先进行绕组电阻绝缘电阻等测试确认否正常
特长期没电机必须进行校验工作根保存状态保存
期间电机已劣化关绕组电阻值请参阅规格说明书直接
公司咨询绝缘电阻值请参阅列附表

够长时间安全电机请定期进行维护检修（绕组电阻
绝缘电阻等测试）
度检查（耐压试验等）会损坏绕组需注意关绕组电阻值
请参阅规格说明书直接公司咨询绝缘电阻值请参阅列附表

电机绝缘电阻测量
兆欧姆表(DC500V)绕组～框架间绝缘电阻进行测量测
量结果请列标准处理

绝缘电阻值 判定
等
100MΩ
良
10～100MΩ 开始劣化然性存问题需定
期进行检查
1～10MΩ 劣化已进步加深需特注意请定期进
行检查
1MΩ 良请更换电机

安全 B65325CM01

s8
13 FANUC SERVO AMPLIFIER βi series

131 安装时警告注意

1311 警告

请确认放器规格
请确认否购入指定放器

请设置漏电断路器
防止火灾体触电事发生工厂电源者机床必须设置漏
电断路器（应变频器）

请切实做接工作
请切实放器电机接端子金属框架连接强电盘接
板

请注意放器类重量
放器 AC 电抗器中重物存输送盘安装时候请注意
外注意手夹盘放器间

请电源线动力线发生漏电短路现象
避免线材受弯曲等应力影响外切实进行终端处理

请确认电源线动力线信号线连接
旦发生螺丝松弛连接器插入良压接端子压接良等现象容易
导致电机错误工作发热漏电短路等事发生特高压电源线
电机动力线 DC 链路连接等果螺丝松弛压接端子压接良（连
接器场合接触良连接端子电缆线连接良）现象存话极易
发生火灾引起充分注意

暴露外充电部分必须绝缘处理

请直接手接触生放电单元散热装置
生放电单元散热装置表面温度高请直接手接触外
请结构进行优化考虑

布线完成必须盖放器盖子
发生触电事危险
B65325CM01 安全
s9
1312 注意

请站坐放器
外请拆封状态放器堆积放置

请注意放器环境
关环境温度细节请参阅规格说明书

请腐蚀性导电性雾气水滴直接粘附放器
请根需滤器

请放器受击
请放器放置物品

请拆开放器

请阻塞散热装置通风口
果通风口切削液油雾切削碎屑等粘附时会冷效率降低导
致冷效果达设计求外会导致半导体寿命缩短特应
外气导入场合请吸入口排气口设置滤器滤器需定期进
行更换请设计成易更换结构

请电源线动力线正确接入端子连接器

请信号线正确接入连接器

关电源线动力线等线材需确认合适线芯容许温度

请塑料部分施加必外力
塑料部分破裂造成部零件受损样容易导致机器法正常运转
外裂开部分容易受损需引起注意

接通电源前请确认电源电压否正常
请确认前电压处规格说明书记载电压范围接通电源

请确认电机放器搭配正确

请确认参数输入否正确
果电机放器组合时输入参数正确电机法正常运转
导致电机放器损伤

请确认放器周边机床连接否正常
请认真检查电磁接触器断路器等放器外围设备间连接设
备放器间连接否正常 安全 B65325CM01

s10
请确认安装强电盘放器否符合安装标准
强电盘放器安装面间果间隙容易外部粉尘侵入
影响放器正常操作

噪音策
放器正常操作需充分考虑噪音问题例必须信号线电源
线动力线分开布线

连接器拔出插入
果没特规定通电状态请意进行连接器拔出插入
操作样做会导致放器产生障


1313 注释

请量便确认标牌

注意标牌文字缺失

开封请检查放器外观确认异常

量机床安装便定期检查日常维护位置

机床装置控制柜门附确保留便维护足够空间
请量控制柜门附放置重物确保开关方便

请参数表种备件放易分辨场合
外规格书样需妥善保量做时进行参阅

请切实进行屏蔽线处理
屏蔽处理中必需电缆切实电缆线夹等连接入接板
B65325CM01 安全
s11
132 试运行时警告注意

1321 警告

接通电源前请确认接入强电盘放器电缆连接器动力线电源
线否已连接正常外检查松脱现象
旦发生螺丝松脱连接器插入良压接端子压接良等现象
容易导致电机产生误操作发热漏电短路等事
特高压电源线电机动力线 DC 链接连接等果螺丝松
脱压接端子压接良（连接器场合接触良连接端子电缆线接
续良）等现象存话极易发生火灾十分注意

接通电源前应确认强电盘否已切实接

接通电源前检查强电盘等控制柜门
请确认容纳放器强电盘等控制柜门已切实关闭确保强电
盘等控制柜门运行中必须关闭锁

必须开强电盘等控制柜门时请注意
请安排专业士（接受类机床装置维护相关教育员工）切
断强电盘输入断路器供电强电盘工厂开关器电源
开控制柜门外调整机床等原需开控制柜门进行试运行
时候请注意手刀具接触电压方象种场合
接受装置维护教育技术员作业

机床初运行时请确认机床否指令运行
初电机指令值开始慢慢启动检查否指令
运行果运行正常请立停止操作

请确认电源接通急停电路否正常
请确认急停钮电机否快速停止放器输入部分电磁接触器
否切断

调整机床时需开机床控制柜门保护盖进行作业场合必须确保
急停钮电机停止
安全 B65325CM01

s12
1322 注意

请确认接通电源运行中否放器相关报警显示等
请根报警容维修说明书实施适处理需开强电盘控制
柜门进行作业场合请交专业士（接受类机床装置维护相
关教育员工）操作外报警导致强制复位操作容易损坏放
器请适处理

请初电机运转程中安装位置速度检测器进行调整
关轴位置速度检测器必须维修说明书述调整适波
形没进行调整时电机法正常运转外轴法停止正
确位置

运行时果电机发出异常声音振动时请立关闭电机
果电机发出异常声音振动时继续会导致放器产生障请
进行适处理度运行

请注意环境温度等放器额定输出范围
需注意环境温度会导致放器连续额定输出降低
连续时间缩短载状态连续会导致放器障

果没特载明接通电源状态请进行连接器插拔操作
样做导致放器发生障
B65325CM01 安全
s13
133 维护时警告注意

1331 警告

请熟读维修说明书理解中容
日常维护时发生报警时处理方式等已记载维修说明书中请理解
容进行作业

更换保险丝印制电路板时注意事项
1) 必须确认强电盘断路器切断进行作业
2) 请确认充电显示 LED（红）灯已熄灭关放器充电显示
LED 位置请参阅规格说明书LED 果处点亮状态表示残留
危险电压发生触电事心
3) 印制电路板高温零部件注意防止烫伤
4) 请确认保险丝额定值额定值保险丝
5) 请确认印制电路板规格需进行特改造时候更换前请
FANUC 公司咨询外确认更换前设定插脚
6) 更换保险丝请确认螺丝已切实拧紧关插座类型确认保
险丝否插底部
7) 更换印制电路板请确认否插入连接器
8) 请确认动力线电源线种连接器连接

请注意螺丝遗失
取箱体印制电路基板时候请注意取螺丝遗失果遗
失螺丝留组件部旦接通电源容易机床受损伤

绝脉编码器电池更换
更换电池应电源开状态进行需注意切断电源更换电池
会导致已存储机床绝位置丢失βi 系列伺服放器组件包含
搭载着电池伺服放器机型类机型时需开强电盘控制
柜门状态切断电源模件控制电源作急停状态切断放器
动力系统输入更换电池专业士（接受类机床装
置维护相关教育员工）绝进行作业设置放器强电盘
高电压发生触电事

请确认报警号
发生报警导致机床停止运行时候必须确认报警号果发生报警
更换零件次接通电源会导致零件受损伤更加难查
明事真正原

请障原彻底清进行报警复位操作

关维护方面疑问事项请早 FANUC 公司联络
安全 B65325CM01

s14
1332 注意

注意零部件安装否位
进行零部件印制电路板更换次装配时候请确认否实际安
装减振电容器等零部件例没减振电容器时候 IPM 会受损

请确认螺丝否切实紧固

请确认保险丝印制电路板等零部件规格
进行保险丝印制电路板更换时确认规格否正确装配
正确位置果错误规格进行装配错误位置进行装配
会导致电机法正常运转

请注意盖体装配否误
放器正面盖体粘贴着注明规格标签取正面盖体时候请
务必相单元装配

散热装置风扇电机清洁工作
1) 散热装置风扇电机受污染容易半导体冷性降结果
会降低产品性必须进行定期清洁工作
2) 通风力进行清洁时候请注意灰尘飞散果放器周边机床附
着带导电性灰尘时导致发生障
3) 清洁散热装置时候先切断电源等散热装置温度降室温相
程度进行作业运行中刚刚切断电源散热装置温度非
常高会造成烫伤接触散热装置时候定心

取放器场合
请确认电源已切断进行外注意手指夹进放器
强电盘间


1333 注释

请电池连接器切实插入正确位置
果错误装配状态切断电源会导致机床绝位置容丢
失

请妥善保类手册
保时做时找便参考

FANUC 公司联系时
够利零部件进行维护请充分解报警容放器规
格清楚处请 FANUC 公司联系
B65325CM01 前言
p1
前言

说明书构成
说明书介绍 FANUC 伺服放器βi 系列ＳＶＭFANUC 伺服放器βi
系列ＳＶＰＭFANUC 伺服电机βis 系列 FANUC 轴电机βi 系列维护
时注意事项
第Ⅰ篇第Ⅱ篇描述βi 系列ＳＶＭ启动步骤出现障时处理步骤
第Ⅲ篇第Ⅳ篇描述βi 系列ＳＶＰＭ启动步骤出现障时处理步骤
第Ⅴ篇描述伺服电机轴电机维护方法

＊介绍说明书中简称
规格 简称
FANUC Series 15i FS15i
FANUC Series 16i FS16i
FANUC Series 18i FS18i
FANUC Series 21i FS21i
FANUC Series 0i FS0i
FANUC Series 30i FS30i
FANUC Power Mate i–D
FANUC Power Mate i–H
PMi
FANUC SERVO AMPLIFIER βi series βi SVM
FANUC SERVO AMPLIFIER βi series βi SVPM

＊ 说明书中时伺服参数中参数号简略 CNC 机型名列形
式说明

Series 15i
Series 16i 18i 21i 0i PMi

No 1877 (FS15i) 载保护系数 (OVC1)
No 2062 (FS16i)
伺服参数功名称者位


＊ 作说明书相关容说明书备
说明书时规格书说明书指定参阅象
1) FANUC SERVO AMPLFIER βi series Descriptions(规格说明书) B65322EN
2) FANUC AC SERVO MOTOR βis series Descriptions(规格说明书) B65302EN
3) FANUC AC SPINDLE MOTOR βi series Descriptions(规格说明书) B65312EN
4) FANUC AC SERVO MOTOR αisαiβis series 参数说明书 B65270CM
5) FANUC AC SPINDLE MOTOR αiβi series 参数说明书 B65280CM B65325CM01 目录

c1
目录

安全 s1
前言 p1
I βi SVM 启动步骤
1 概 3
2 构成 4
21 构成 5
22 构成素 6
221 伺服放器模件 6
3 启动步骤 7
31 启动时步骤 (概) 8
32 电源连接 9
321 电源电压容量确认 9
322 保护线连接 9
323 漏电电流断电器选择 9
33 初始设定（开关虚拟连接器） 10
34 参数初始设定 11
4 操作确认方法 12
41 伺服放器模件 13
411 确认步骤13
412 NC 画面显示 VRDYOFF 报警时15
413 电机电流数值检测方法 16
5 伺服放器定期维护 19
51 绝脉编码器电池 20
52 关伺服放器定期检查 27
II βi SVM 障排处理办法
1 概 31
2 报警显示容 32
21 Series 15i 情形 33
211 伺服报警33
22 Series 16i 18i 20i 21i 0i Power Mate i 情形 34
221 伺服报警34
3 障排处理办法 35
31 伺服放器模件 36
311 转换器 ＤＣ链路部电压低 37
312 转换器 ＤＣ链路部电压 37
313 转换器 减速电力 37
314 转换器 控制电源电压低 38
315 变频器 部冷风扇停止 38 目录 B65325CM01

c2
316 变频器 散热器冷风扇停止39
317 变频器 ＩＰＭ报警 39
318 变频器 ＩＰＭ报警（ＯＨ）40
319 变频器 电机电流异常 40
3110 变频器 FSSB 通信异常 41
32 伺服软件 42
321 伺服调整画面 42
322 诊断画面44
323 载报警（软发热OVC）45
324 反馈断线报警 46
325 热报警47
326 伺服参数设定非法报警 47
327 脉编码器分离式串行检测器相关报警48
328 报警50
4 保险丝印制电路板等更换方法 52
41 保险丝印制电路板更换方法 53
411 印制电路板图形编号 54
412 保险丝实际安装位置 55
42 风扇电机更换方法 56
421 部风扇电机情形 SVM14iSVM120i56
422 部风扇电机情形 SVM140iSVM180i57
423 外部风扇电机 58
III βi SVPM 启动步骤
1 概 61
2 构成 62
21 构成 63
22 构成素 65
221 βiSVPM 65
3 启动步骤 66
31 启动时步骤（概） 67
32 电源连接 68
321 电源电压容量检查 68
322 接保护连接 68
323 漏泄电流漏电断路器选择68
33 参数初始设定 69
4 操作确认方法 70
41 SVPM 概 71
411 连接器 STATUS（状态）显示 LED 构成 71
412 启动步骤72
42 SVPM 转换器部分 73
421 印制电路板检查端子 73
422 STATUS 显示 LED 灯亮时确认 74
423 电磁接触器法开启时确认75
43 SVPM 轴部分 76
431 关 STATUS１显示 76
432 启动时障排 77
4321 STATUS１显示总闪烁－－77
4322 电机运行时77 B65325CM01 目录

c3
4323 转速指令时78
4324 非切削时轴产生振动发出噪音时78
4325 超程振荡时79
4326 切削力降加减速时间较长时79
433 错误状态显示功 80
434 反馈信号波形确认 81
4341 Mi 传感器MZi 传感器 82
435 轴检查板 83
4351 轴检查板规格图号83
4352 轴检查板连接83
4353 检查端子输出信号84
436 基轴检查板数观测方法85
4361 概述 85
4362 特性 85
4363 观测方法 86
4364 观测数设定方法86
4365 关址容初始值(SVPM)87
4366 轴部数输出方式操作原理说明88
4367 数号列表91
4368 数观测例93
437 基轴检查板参数确认方法94
4371 概述 94
4372 参数确认方法94
438 基 SERVO GUIDE（伺服导）数观测 95
4381 概述 95
4382 系列版95
4383 通 SERVO GUIDE 观测轴数列表95
4384 轴控制信号轴状态信号96
4385 数观测例97
44 SVPM 伺服部分 98
441 STATUS2 显示确认 98
442 NC 显示 VRDYOFF 报警时 99
443 观测电机电流值方法 100
5 SVPM 定期维护 103
51 绝脉编码器电池 104
52 关 SVPM 定期检查 110
IV βi SVPM 障排处理办法
1 概 113
2 报警显示容 114
21 伺服报警 115
22 轴报警 117
3 障排处理办法 119
31 伺服轴通部分 120
311 STATUS2 报警代码 － STATUS1 报警代码 ３０120
312 STATUS2 报警代码 － STATUS1 报警代码 ５９120
313 STATUS2 报警代码 － STATUS1 报警代码 ５８120
314 STATUS2 报警代码 － STATUS1 报警代码 ５１121
315 STATUS2 报警代码 － STATUS1 报警代码 ３３121
316 STATUS2 报警代码 － STATUS1 报警代码 ｂ１121
317 STATUS2 报警代码 － STATUS1 报警代码 １１122 目录 B65325CM01

c4
318 STATUS2 报警代码 － STATUS1 报警代码 ０４122
32 伺服部分 123
321 STATUS2 报警代码 2 124
322 STATUS2 报警代码 5 124
323 STATUS2 报警代码 6 124
324 STATUS2 报警代码 P124
325 STATUS2 报警代码 8 9 A 125
326 STATUS2 报警代码 8 9 A 125
327 STATUS2 报警代码 b c d126
328 STATUS2 报警代码 U 127
33 伺服软件 128
331 伺服调整画面 128
332 诊断画面129
333 载报警（软发热OVC）130
334 反馈断线报警 131
335 热报警132
336 伺服参数设定非法报警 132
337 脉编码分离式串行检测器相关报警133
338 报警135
34 轴部 137
341 报警代码 01 137
342 报警代码 02 138
343 报警代码 06 138
344 报警代码 07 139
345 报警代码 09 139
346 报警代码 12 140
347 报警代码 15 141
348 报警代码 18 141
349 报警代码 19 20 141
3410 报警代码 21 141
3411 报警代码 24 142
3412 报警代码 27 143
3413 报警代码 29 144
3414 报警代码 31 145
3415 报警代码 32 145
3416 报警代码 34 145
3417 报警代码 36 146
3418 报警代码 37 146
3419 报警代码 41 147
3420 报警代码 42 147
3421 报警代码 46 147
3422 报警代码 47 148
3423 报警代码 50 148
3424 报警代码 5253 149
3425 报警代码 54 149
3426 报警代码 73 149
3427 报警代码 75 150
3428 报警代码 79 150
3429 报警代码 81 150
3430 报警代码 82 151
3431 报警代码 83 151
3432 报警代码 84 152
3433 报警代码 85 152
3434 报警代码 86 152
3435 报警代码 87 152 B65325CM01 目录

c5
3436 报警代码 A A1A2152
3437 报警代码 C0C1C2 153
3438 报警代码 35 153
4 保险丝印制电路板等更换方法 154
41 保险丝印制电路板更换方法 155
V 电机维护
1 伺服电机维护 159
11 伺服电机购入保 160
12 伺服电机日常检测 161
13 伺服电机定期检查 163
14 脉编码器更换 166
15 更换部件规格型号 168
2 轴电机维护 169
21 维护检查 170
22 维护部件 172
23 容许径载荷 173









I βi SVM 启动步骤

B65325CM01 βi SVM启动步骤 1概
3
1 概

篇介绍构成素确认伺服电机放器启动时注意事项
• 构成
• 启动步骤
• 操作确认方法
• 伺服放器定期维护 2构成 βi SVM启动步骤 B65325CM01

4
2 构成 B65325CM01 βi SVM启动步骤 2构成
5
21 构成

FANUC 伺服放器βi 系列伺服放器模件ＳＶＭ列单元零部件构
成

(1) 伺服放器模件(SVM) (基)
(2) ＡＣ线路滤波器 (基)
(3) 连接器类(连接电缆) (基)
(4) 保险丝 (选项)
(5) 电源变压器 (选项)

构成素（示例）


断路器 ３Φ AC200～240V
1Φ AC220～240V
(4A 20A 型号)
控制电源 DC24V±10
者
βi 系列
SVM
AC
线路
滤波器 伺服
电机
：基
：选项
：机床制造商需准备部件
电磁
接触器
βi 系列
SVM
伺服
电机


注释
1 必须安装断路器电磁接触器AC 线路滤波器
2 强电盘安装电源时防止雷击保护电路应线路线路间线路
接间安装雷涌保护器
3 AC 线路滤波器作途ＡＣ电抗器代
2构成 βi SVM启动步骤 B65325CM01

6
22 构成素

221 伺服放器模件

(1) 伺服放器模件 (SVM1)
名称 订货规格号 单元图号 动力印制电路板图号 控制印制电路板图号
SVM14i A06B6130H001 A06B6130C001 A20B21010090
SVM120i A06B6130H002 A06B6130C002 A20B21010091
A20B21010050
SVM140i A06B6130H003 A06B6130C003 A16B32000512
SVM180i A06B6130H004 A06B6130C004 A16B32000513
A20B21010051
B65325CM01 βi SVM启动步骤 3启动步骤
7
3 启动步骤 3启动步骤 βi SVM启动步骤 B65325CM01

8
31 启动时步骤 (概)

CNC伺服电机伺服放器等规格连接接线进行确认接
通电源

(1) 接通断路器电源前请确认连接电源电压
→见 32 节

(2) 时请确认设定（开关虚拟连接器等）
→见 33 节

(3) 电源接入时请 NC 进行初始参数设定
→见 34 节
关伺服参数初始设定请参阅列说明书
FANUC AC SERVO MOTOR αisαiβis series 参数说明书 B65270CM

(4) 关首次启动时调整障排已第 4 章进行描述
B65325CM01 βi SVM启动步骤 3启动步骤
9
32 电源连接

321 电源电压容量确认

电源连接前请测定 AC 电源电压
表 321(a) AC 电源电压采取处理办法(200V 输入类型)
容许电压变动范围 标准值 措施
15
+10
3 相
200V～
240V
SVM14iSVM120i
SVM140iSVM180i

注) 时会出现实际电压足额定输入
电压额定输出足等情况
15
+10
单相
220V～
240V
SVM14iSVM120i
电源中性点接 AC380V～415V 时
单相输入

述外
SVM14iSVM120i
SVM140iSVM180i

绝缘变压器调整输入电压

输入电源说明表 321(b)示电源容量负荷时会出现电压降低等
问题防止问题发生请充足电源

表 321(b) AC 电源电压说明(200V 输入类型)
型号 SVM14i SVM120i SVM140i SVM180i
额定电压 AC200V∼240V 15+10
电源频率 5060Hz ±1Hz
电源设备容量（电路）[kVA] 02 19 39 62
电源设备容量（控制电路）[VA] 22


322 保护线连接

确认保护线否正确连接


323 漏电电流断电器选择

确认漏电断路器否正确选择
3启动步骤 βi SVM启动步骤 B65325CM01

10
33 初始设定（开关虚拟连接器）

SVM14iSVM120i
未生电阻时
虚拟连接器缩短连接器 CXA20
请参阅 FANUC SERVO AMPLIFIER βi series DESCRIPTIONS(规格说明
书) B65322EN

SVM140iSVM180i
开关（ＳＷ）设定
生电阻报警水设定生电阻（置生电阻者分离式生
电阻）设定条件设定时请正确操作

警告
出现设定错误时生电阻会受破坏

请参阅 FANUC SERVO AMPLIFIER βi series DESCRIPTIONS(规格说明
书) B65322EN

置生电阻时
虚拟连接器缩短连接器 CXA20
虚拟连接器缩短连接器 CZ6
请参阅 FANUC SERVO AMPLIFIER βi series DESCRIPTIONS(规格说明
书) B65322EN
B65325CM01 βi SVM启动步骤 3启动步骤
11
34 参数初始设定

(1) 伺服放器模件
关伺服参数初始设定请参阅列说明书
FANUC AC SERVO MOTOR αisαiβis series 参数说明书 B65270CM
4操作确认方法 βi SVM启动步骤 B65325CM01

12
4 操作确认方法
B65325CM01 βi SVM启动步骤 4操作确认方法
13
41 伺服放器模件

411 确认步骤

1 确认步骤
1供应电源
ALM LED 点亮
请参阅机（NCPower Mate 等）伺服调整画面

2ALM LED 点亮

3确认ＮＣ参数解急停
READY LED 点亮
请参阅机（NCPower Mate 等）伺服调整画面

4READY LED 点亮

5 确认伺服电机操作
报警
请参阅第Ⅱ章障排处理办法
电机操作正常
请参阅 FANUC AC SERVO MOTOR αisαiβis series 参数说明书 B65270CM
4操作确认方法 βi SVM启动步骤 B65325CM01

14
Yam anashi 4010597 JAPAN made in JAPAN


Yamanashi 4010597 JAPAN

POWER LED（绿色）
LINK LED （绿色）
ALM LED（黄色）
POWER LED（绿色）
LINK LED （绿色）
ALM LED（黄色）B65325CM01 βi SVM启动步骤 4操作确认方法
15
412 NC 画面显示 VRDYOFF 报警时

NC 显示 VRDYOFF 报警时请确认列项目
外VRDYOFF 原时会列项目外确认列项目没问题
确认诊断画面 No358VRDYOFF 信息公司服务部门联系

(1) 急停信号(ESP)
输入 SVM 急停信号(连接器CX30)否解者否正确连接

(2) MCON 信号
NC 发送 SVM 准备指令信号 MCON 否轴分离功设定没
正常发送

(3) SVM 控制基板
否出现 SVM 控制基板安装良者出现障否切实插入面板
改善时请更换控制基板

Series 16i 18i 21i0iPMi 情形通诊断信息(DGN) No358 分析出
现 VRDYOFF 报警出现原
（伺服软件 90B0 系列D(04)版更新版）

诊断 358 VRDYOFF 信息
显示数值转换 2 进制确认位 5~位 14开伺服放器励磁时低位
位 5 开始次 1正常开时位 5 位 14 1
低位位开始次确认初 0 位处理结束出现 VRDYOFF 报
警原
#15 #14 #13 #12 #11 #10 #9 #8
SRDY DRDY INTL RLY CRDY MCOFF MCONA
#7 #6 #5 #4 #3 #2 #1 #0
MCONS *ESP HRDY
#06(*ESP) 急停信号
#07#08#09 ＭＣＯＮ信号(NC→放器→转换器)
#10(CRDY) 转换器准备绪信号
#11(RLY) 继电器信号（ＤＢ继电器驱动）
#12(INTL) 联锁信号（ＤＢ继电器解状态）
#13(DRDY) 放器准备绪信号 4操作确认方法 βi SVM启动步骤 B65325CM01

16
413 电机电流数值检测方法

介绍关伺服电机电流数值检测方法

(1) SERVO GUIDE（伺服导）方法
关伺服调整工具——伺服导连接方法请参阅联机帮助

CNC 系统
Series 16i 18i 21i 0i – MODEL B
αi 系列应伺服软件 90B0L(12)更新版9096C(03)更新版

设定
通窗口通道设定选择测定象轴种类（Kind）选择ＩＲＩＳ换算系
数（Coef）设定正放器电流值（Ap）



注释
1 伺服软件系列 90B0 中电机电流取样周期赖电流控制周期
2 伺服软件系列 9096 电机电流取样周期仅设定 1msec

显示
窗口模式(M)菜单中选择 XTYT 模式显示波形
B65325CM01 βi SVM启动步骤 4操作确认方法
17
(2) 伺服检查板方法

关伺服检查板连接方法请参阅 FANUC AC SERVO MOTOR αi
sαiβi s series 参数说明书 B65270CM

必装置
• 伺服检查板
Ａ０６Ｂ－６０５７－Ｈ６３０
• 示波器

设定

CNC 设定
伺服软件９０Ｂ０系列时参数设定
输出通道 数号５ 数号６
FS15i No1726 No1774 No1775 No1776
FS16i 18i 21i 0iPMi No2115 No2151 No2152 No2153
测定轴 电流相 IR IS
L 轴(注释 1) 370 0 402 0
M 轴(注释 1) 2418 0 2450 0

伺服软件９０９６系列时参数设定
输出通道
测定轴
数号５
轴(注释 2)
数号５
FS16i 18i 21i 0iPMi No2115 No2115
测定轴 电流相 IR IS
L 轴(注释 1) 370 402
M 轴(注释 1) 1010 1042
９０９６系列时没出现测定轴相轴（注释 2）时时观测
IRIS

注释
1 Ｌ轴指 No1023 设定奇数轴Ｍ轴指 No1023 设定偶数
轴
2 No1023 数值2n1 轴 2n 轴成
4操作确认方法 βi SVM启动步骤 B65325CM01

18
电机电流数输出周期设定（仅限 90B0 系列）

输出周期 No1746 No2206#7
速度环路周期 0 (默认值)
电流环路周期 1 (注释 3)

注释
3 电流环路周期设定输出周期时数号设定０１２
４信号（速度指令等）会输出ＣＨ（通道）电机电流
信号（速度指令等）时检测时请 1msec 设定输出周期
4 伺服软件系列 9096 电机电流输出周期仅 1msec输出电流
环路周期

检查板设定
·请 LED AXIS 位数设定 No1023 轴号中１～８
·请 LED DATA 位数设定数号５者６

电机电流值观测方法
ＣＨ（通道）伺服检查板数号设定５者６输出电机电流相
匹配电压
利示波器等测定该电压观测电机电流波形
观测电压电机电流关系表示：
放器电流 SVM 型 电机电流／观测电压 [AV]
4A SVM14i 1
20A SVM120i 5
40A SVM140i 10
80A SVM180i 20

例SVM120i 时果观测电压 1V电机电流 5A（非实效值
实际电流值）
B65325CM01 βi SVM启动步骤 5伺服放器定期维护
19
5 伺服放器定期维护
5伺服放器定期维护 βi SVM启动步骤 B65325CM01

20
51 绝脉编码器电池

绝脉编码器电池 [连接方式 1] [连接方式 2] 两种连接方式

[连接方式 1] 1 台电池台 SVM 提供电池电源连接方法

SVM SVM
电池盒
A06B6050K060
电池
A06B6050K061
接线器
A06B6130K201
CXA19A CXA19A
CXA19B CXA19B

APC（绝脉编码器）报警电池降者电池电压零时请更换电池
外电池电压零时必须进行参考点返回操作
βi S 系列伺服电机（β045000iS~β222000iS）标准绝脉编码
器装备电容器持续 10 分钟左右绝位置检测运行
该时间切断伺服放器电源更换电池时需进行参
考点返回操作
方面β系列伺服电机部分βi S 系列伺服电机（β025000iS ~
β035000iS）时脉编码器没安装置备电容器时必须
引起操作着高度重视详情请参阅项目末尾[更换电池时注意事项
NO1]
电池寿命伺服电机 6 轴连接时βi S 系列伺服电机（β045000iS ~β
222000iS）时约 2 年β系列伺服电机部分βi S 系列伺服电机
（β025000iS ~β035000iS）时约 1 年左右应根电池
寿命定期更换电池
电池１号碱性干电池（4 节）市面出售电池
A06B6050K061 FANUC 公司作选件提供电池
警告
1 请类型电池接 BAT(B3)线电池输出电压
会造成短路电池产生高温十分危险
2 连接电池时请注意正负极性否导致电池发热破裂起
火
B65325CM01 βi SVM启动步骤 5伺服放器定期维护
21
[连接方式 2] 置电池 SVM 安装方法

SVM
电池
A06B6093K001
电池盒
A06B6093K002
SVM
电池
A06B6093K001
电池盒
A06B6093K002
CX5X CX5X


APC（绝脉编码器）报警器电池容量降低者电池电压零时请更
换电池(A06B6093K001)
外电池电压零时必须进行参考点返回操作
βi S 系列伺服电机（β045000iS ~β222000iS）标准绝脉编码
器装备电容器持续 10 分钟左右绝位置检测运行
该时间切断伺服放器电源更换电池时需进行参
考点返回操作
方面β系列伺服电机部分βi S 系列伺服电机（β025000iS ~
β035000iS）时脉编码器没安装置备电容器时必须
引起操作者高度重视详情请参阅项目末尾[更换电池时注意事项
NO1]
电池寿命βi S 系列伺服电机（β045000iS ~β222000iS）时 2 年
β系列伺服电机部分βi S 系列伺服电机（β025000iS ~β035000iS）
时约 1 年左右应根电池寿命定期更换电池
置电池非市场购买产品必须公司购买建议户
事先准备备置电池
5伺服放器定期维护 βi SVM启动步骤 B65325CM01

22
警告
1 置电池(A06B6093K001)时切勿连接连接器 CXA2ACXA2B
BAT(B3)
果 SVM 电池输出电压短路电池产生高温
2 请类型电池连接 BAT(B3)线电池输出电
压会造成短路电池产生高温十分危险
3 连接电池时请注意正负极性否导致电池发热破裂起
火

电池安装方法
SVM14iSVM120i
1 电池安装 SVM
2 安装电池盒
3 电池连接器安装 SVM CX5X




















电池
SVM
电池盒
插入方
红：+6V
黑：0V
CX5X
+6V
0V
连接器
电缆端 B65325CM01 βi SVM启动步骤 5伺服放器定期维护
23
电池安装方法
SVM140iSVM180i
1 电池安装 SVM
2 安装电池盒
3 电池连接器安装 SVM CX5X
电池
SVM
电池盒
插入方
红：+6V
黑： 0V
CX5X
+6V
0V
连接器
电缆端

注意
1 SVM 安装电池时果电池电缆引出口方安装电缆
机会处绷紧状态请电缆留出余量进行安装果电池电缆处
绷紧状态安装电池导致电池接触良
2 连接器安装需引起充分注意详情请参阅项目末尾[更换电池时
注意事项 NO2]
5伺服放器定期维护 βi SVM启动步骤 B65325CM01

24
更换电池时注意事项 NO1
β系列伺服电机部分βiS 系列伺服电机（β025000iS ~β035000iS）脉
编码器部没加载备电容器丢失绝脉编码器绝位
置信息请控制电源接通状态更换电池更换步骤述

[更换步骤]
1 确认 SVM 电源已接通（SVM 正面 LED POWER指示灯闪烁）
2 确认系统急停钮已
3 确认电机处非励磁状态
4 确认 SVM DC 链路充电 LED 指示灯处熄灭状态
5 取出旧电池换新电池
6 更换结束关闭系统电源

警告
1 更换电池时请触摸电池槽裸露金属部分果触摸高压部
位会导致触电
2 请先确认伺服放器正面 DC 链路充电 LED 指示灯已熄灭更
换电池请 LED 指示灯尚未熄灭情况更换否会导致触
电
3 连接电池时请注意正负极性弄错极性连接导致电池发热
破裂起火
4 注意电池电缆+6V0V形成短路果电池短路
导致发热破裂起火
B65325CM01 βi SVM启动步骤 5伺服放器定期维护
25
更换电池时注意事项 NO2

连接器插拔时果力度会造成接触良请列方式插拔电池连
接器时连接器施加扭力

(1) 连接器安装

①


确认安装位置
②


等 10 度

插入时电缆部分略微抬
高
③


等 5 度

时水方等 5
度
④



穿锁定销钉笔直插
入
⑤



安装结束
5伺服放器定期维护 βi SVM启动步骤 B65325CM01

26
(2) 连接器拆卸

①



握住电缆绝缘体电缆水
拔出
②


等 10 度

电缆应稍微抬起
③


等 5 度

时水方等 5
度
B65325CM01 βi SVM启动步骤 5伺服放器定期维护
27
52 关伺服放器定期检查

够实现伺服放器长期确保设备高性高稳定性必须实施日
常性维护检查

检查周期 检查位置 检查项目
日常 定期
判定基准 备注
环境 环境温度 ○
强电盘四周 0～45℃
强电盘 0~55℃
环境 湿度 ○ 等 90RH（应结露）
环境
尘埃
油污
○ 伺服放器附应粘附类物质
环境 冷风通道 ○
风流动否畅通
冷风扇电机运行否正常
环境 异常振动响声 ○
(1) 应前没异常响声者振动
(2) 放器附振动应等 05G
环境 电源电压 ○
３相输入时：200 ~240V
单相输入时：220 ~240V
放器 总体 ○ 否出现异常声音异常气味
放器 总体 ○
否堆积尘埃油污
否出现异常响声异常味道
放器 螺丝 ○ 螺丝否松动
放器 风扇电机 ○
(1) 运转否正常
(2) 否异常振动异响
(3) 尘埃油污否堆积
(*1)
放器 连接器 ○ 否松动
放器 电缆 ○
(1) 否发热迹象
(2) 皮线否出现劣化（变色者裂纹）
外围设备 电磁接触器 ○ 应出现异响颤动
外围设备 漏电断路器 ○ 漏电跳闸装置应正常运行
外围设备 ＡＣ线路滤波器 ○ 没低微声响

(*1) 风扇电机定期维护零部件
伺服放器风扇电机停止时然会立损坏放器需进行日
常性检查定期更换类部件
5伺服放器定期维护 βi SVM启动步骤 B65325CM01

28
风扇单元图号
SVM
部搅拌 外部放热风扇冷 SVM 名称
风扇单元(*1) 风扇电机 风扇单元(*1) 风扇电机
SVM120i A06B6134K003 A90L00010423#50
SVM140i A06B6110C605 A90L00010510
SVM180i A06B6110C605 A90L00010510 A06B6134K002
(*1) 风扇单元风扇电机风扇电机安装盖构成











II βi SVM 障排处理办法 B65325CM01 βi SVM障排处理办法 1概
31
1 概

篇介绍障发生时处理步骤请根状况参阅项目查清导致障
原采取适处理办法

首先请参阅第 2 章确认报警号（ＣＮＣ显示）ＳＶＭ显示查清
导致障原

请需参阅第 3 章容采取适处理办法
2报警显示容 βi SVM障排处理办法 B65325CM01

32
2 报警显示容
B65325CM01 βi SVM障排处理办法 2报警显示容
33
21 Series 15i 情形

211 伺服报警

报警号 报警容 参阅
ＳＶ００２７ 数字伺服参数错误 326
ＳＶ０３６１ 脉编码器相位异常（置） 327 (1)
ＳＶ０３６４ 软相报警（置） 327 (1)
ＳＶ０３６５ ＬＥＤ异常（置） 327 (1)
ＳＶ０３６６ 脉错误（置） 327 (1)
ＳＶ０３６７ 计数错误（置） 327 (1)
ＳＶ０３６８ 串行数错误（置） 327 (3)
ＳＶ０３６９ 数传输错误（置） 327 (3)
ＳＶ０３８０ ＬＥＤ异常（分离式） 327 (2)
ＳＶ０３８１ 脉编码器相位异常（分离式） 327 (2)
ＳＶ０３８２ 计数错误（分离式） 327 (2)
ＳＶ０３８３ 脉错误（分离式） 327 (2)
ＳＶ０３８４ 软相报警（分离式） 327 (2)
ＳＶ０３８５ 串行数错误（分离式） 327 (3)
ＳＶ０３８６ 数传输错误（分离式） 327 (3)
ＳＶ０３８７ 检测器异常（分离式） 327 (2)
ＳＶ０４２１ 半—全误差 328
ＳＶ０４３０ 伺服电机热 325
ＳＶ０４３２ 转换器 控制电源电压低 314
ＳＶ０４３３ 转换器 ＤＣ链路部电压低 311
ＳＶ０４３６ 软发热（ＯＶＣ） 323
ＳＶ０４３８ 变频器 电机电流异常 319
ＳＶ０４３９ 转换器 ＤＣ链路部电压 312
ＳＶ０４４０ 转换器 减速电力 313
ＳＶ０４４１ 电流偏移异常 328
ＳＶ０４４４ 变频器 部冷风扇停止 315
ＳＶ０４４５ 软件断线报警 324
ＳＶ０４４７ 硬件断线报警（分离式） 324
ＳＶ０４４８ 反馈致报警 328
ＳＶ０４４９ 变频器 ＩＰＭ报警 317
ＳＶ０６０１ 变频器 散热器冷风扇停止 316
ＳＶ０６０３ 变频器 ＩＰＭ报警（ＯＨ） 318
2报警显示容 βi SVM障排处理办法 B65325CM01

34
22 Series 16i 18i 20i 21i 0i Power Mate i 情形

221 伺服报警

报警号 报警容 参阅
３６１ 脉编码器相位异常（置） 327 (1)
３６４ 软相报警（置） 327 (1)
３６５ ＬＥＤ异常（置） 327 (1)
３６６ 脉错误（置） 327 (1)
３６７ 计数错误（置） 327 (1)
３６８ 串行数错误（置） 327 (3)
３６９ 数传输错误（置） 327 (3)
３８０ ＬＥＤ异常（分离式） 327 (2)
３８１ 脉编码器相位异常（分离式） 327 (2)
３８２ 计数错误（分离式） 327 (2)
３８３ 脉错误（分离式） 327 (2)
３８４ 软相报警（分离式） 327 (2)
３８５ 串行数错误（分离式） 327 (3)
３８６ 数传输错误（分离式） 327 (3)
３８７ 检测器异常（分离式） 327 (2)
４１７ 参数错误 326
４２１ 半—全误差 328
４３０ 伺服电机热 325
４３２ 转换器 控制电源电压低 314
４３３ 转换器 ＤＣ链路部电压低 311
４３６ 软发热（ＯＶＣ） 323
４３８ 变频器 电机电流异常 319
４３９ 转换器 ＤＣ链路部电压 312
４４０ 转换器 减速电力 313
４４１ 电流偏移异常 328
４４４ 变频器 部冷风扇停止 315
４４５ 软件断线报警 324
４４７ 硬件断线报警（分离式） 324
４４８ 反馈致报警 328
４４９ 变频器 ＩＰＭ报警 317
４５３ α脉编码器 软件断线 324
６０１ 变频器 散热器冷风扇停止 316
６０３ 变频器 ＩＰＭ报警（ＯＨ） 318

B65325CM01 βi SVM障排处理办法 3障排处理办法
35
3 障排处理办法
3障排处理办法 βi SVM障排处理办法 B65325CM01

36
31 伺服放器模件

伺服放器模件报警纳表
第 2 项 报警显示容中说明 CNC 报警代码请查表
报警 ALM
LED 显示
原 参阅
转换器 ＤＣ链路部电压低 点亮 电路直流部分(DC 链路)电压降 311
转换器 ＤＣ链路部电压 点亮 电路直流部分(DC 链路)电压升 312
转换器 减速电力 点亮 ·生放电量
·生放电电路异常
313
转换器 控制电源电压低 点亮 ·外部控制电源（２４Ｖ）降
·连接器电缆线(CXA19ACXA19B)问题
·ＳＶＭ问题
314
变频器 部冷风扇停止 点亮
·风扇停止
·风扇电机连接器电缆线问题
·ＳＶＭ问题
315
变频器 散热器冷风扇停止 点亮
·风扇停止
·风扇电机连接器电缆线问题
·ＳＶＭ问题
316
变频器 ＩＰＭ报警 点亮
·动力线相互间短路接障
·电机绕组相互间短路接障
·ＳＶＭ问题
317
变频器 ＩＰＭ报警（ＯＨ） 点亮
·电机严格条件
·环境温度高
·ＳＶＭ问题
318
变频器 电机电流异常 点亮
·动力线相互间短路接障
·电机绕组相互间短路接障
·电机 ID NOＩＤ设定错误
·ＳＶＭ问题电机问题
319
变频器 FSSB 通信异常 点亮
·连接器电缆线问题
·ＳＶＭ问题 CNC 问题 3110
B65325CM01 βi SVM障排处理办法 3障排处理办法
37
311 转换器 ＤＣ链路部电压低

(1) 容
转换器 ＤＣ链路部电压低
(2) 原排方法
(a) 出现瞬间停止
→请确认电源
(b) 输入电源电压低
→请确认电源规格
(c) 请确认已插入 SVM 面板(控制基板)
(d) 更换 SVM


312 转换器 ＤＣ链路部电压

(1) 容
电路直流部分(DC 链路)电压变异常高
(2) 原排方法
(a) SVM14iSVM120i 时
请生电阻
(b) 生电力
请延长加减速时间常数果发生频度降会出现生量足
会出现报警水设定加减速时间常数
(c) 请确认已切实插入 SVM 面板(控制基板)
(d) 更换 SVM


313 转换器 减速电力

(1) 容
转换器减速电力
(2) 原排方法
SVM14iSVM120i 时
分离式生电阻时
(a) 请虚拟连接器 CXA20 短路
(b) 请确认已切实插入 SVM 面板(控制基板)
(c) 更换 SVM
分离式生电阻时
(a) 测试器确认生电阻端连接器 CXA20 两端电阻值确
认处 0Ω
(b) 均生电力较高否降低加减速频度请重新评估
电阻规格
(c) 请确认已切实插入 SVM 面板(控制基板)
(d) 更换 SVM 3障排处理办法 βi SVM障排处理办法 B65325CM01

38
SVM140iSVM180i 时
置生电阻时
(a) 请虚拟连接器 CXA20 CZ6 短路
(b) 均生电力较高否降低加减速频度请重新评估
电阻规格
(c) 请确认已切实插入 SVM 面板(控制基板)
(d) 更换 SVM

分离式生电阻时
(a) 测试器确认生电阻连接器 CXA20 两端电阻值确认处
0Ω
(b) 均生电力较高否降低加减速频度请重新观察
电阻说明
(c) 请确认已切实插入 SVM 面板(控制基板)
(d) 更换 SVM


314 转换器 控制电源电压低

(1) 容
外部控制电源（DC24V）电压低
(2) 原排方法
(a) 确认外部电源（DC24V）电压水（正常时：等 216V）
(b) 确认连接器电缆线(CXA19ACXA19B)
(c) 更换 SVM


315 变频器 部冷风扇停止

(1) 容
变频器 部冷风扇停止
(2) 原排方法
(a) 确认风扇否卷异物
(b) 请确认已切实插入面板(控制基板)
(c) 确认风扇连接器连接情况
(d) 更换风扇
(e) 更换 SVM
B65325CM01 βi SVM障排处理办法 3障排处理办法
39
316 变频器 散热器冷风扇停止

(1) 容
变频器 散热器冷风扇停止
(2) 原排方法
(a) 确认风扇否卷异物
(b) 请确认已切实插入面板(控制基板)
(c) 确认风扇连接器连接情况
(d) 更换风扇
(e) 更换 SVM


317 变频器 ＩＰＭ报警

(1) 容
变频器 IPM 报警
(2) 原排方法
(a) 请确认已切实插入面板(控制基板)
(b) SVM 取电机动力线取消急停
① IPM 报警发生时
→(c)
② IPM 报警发生时
→更换 SVM
(c) SVM 取电机动力线确认电机动力线 UVW 中根 PE
绝缘情况
① 绝缘效果退化时
→(d)
② 绝缘正常时
→更换 SVM
(d) 分离电机动力线确认电机动力线根绝缘效果退化
① 电机绝缘效果退化时
→更换电机
② 动力线绝缘效果退化时
→更换动力线
3障排处理办法 βi SVM障排处理办法 B65325CM01

40
318 变频器 ＩＰＭ报警（ＯＨ）

(1) 容
变频器 IPM 报警 (OH)
(2) 原排方法
(a) 请确认已切实插入面板(控制基板)
(b) 确认散热器冷风扇否停止
(c) 确认电机否连续等额定值情况
(d) 确认机架冷力否降 (风扇滤器检查等)
(e) 确认环境温度否高
(f) 更换 SVM


319 变频器 电机电流异常

(1) 容
变频器 电机电流异常
(2) 原排方法
(a) 确认伺服参数
参数否标准设定 FANUC AC SERVO MOTOR αis
αi βis series 参数说明书 B65270CM 进行确认
Series 15i No1809 No1852 No1853
Series 16i 18i 20i 21i 0i
Power Mate i No2004 No2040 No2041
仅快速加减速时发生电机电流异常报警时电机条件
苛刻请调加减速时间常数观察状况
(b) 请确认已切实插入面板(控制基板)
(c) SVM 取电机动力线取消急停
① 电机电流发生异常时
→(d)
② 电机电流发生异常时
→更换 SVM
(d) SVM 取电机动力线确认电机动力线 UVW 中根 PE
绝缘情况
① 绝缘效果退化时
→(e)
② 绝缘正常时
→更换 SVM
(e) 分离电机动力线确认电机动力线根绝缘效果退化
① 电机绝缘效果退化时
→更换电机
② 动力线绝缘效果退化时
→更换动力线
B65325CM01 βi SVM障排处理办法 3障排处理办法
41
3110 变频器 FSSB 通信异常

(1) 容
变频器 FSSB 通信异常
(2) 原排方法
(a) 更换LEDALM点亮放器中距CNCSVM光缆(COP10A)
（图 3110 情形 UNIT2 UNIT3 间电缆）
(b) 更换 LEDALM点亮放器中距 CNC 第二 SVM（
图 3110 情形 UNIT3）
(c) 更换 LEDALM点亮放器中距 CNC SVM（图
3110 情形 UNIT2）
(d) 更换 CNC 伺服卡

COP10B
COP10A
COP10B
COP10A
COP10B
COP10A
方面
(CNC)
COP10B
COP10A
动端
UNIT1 UNIT2 UNIT3 UNIT4
LED ALM
点亮
LED ALM
点亮
LED ALM
点亮
LED ALM
熄灭
(C) (b)
(a)

图 3110

3障排处理办法 βi SVM障排处理办法 B65325CM01

42
32 伺服软件

发生伺服报警时报警信息外伺服调整画面者诊断画面详细报警
显示请项报警判定表确定报警容进行适处理

321 伺服调整画面

根序够显示伺服调整画面
( Power Mate DPLMDI 中伺服调整画面)


Series15i
→〔CHAPTER〕→〔SERVO〕→〔 〕→〔SERVO ALARM〕


Series16i18i21i0i
→〔SYSTEM〕→〔 〕→〔SVPRM〕→〔SVTUN〕

显示伺服画面时进行面设定进行 NC 电源 OFFON 操作
#7 #6 #5 #4 #3 #2 #1 #0
3111 SVS
SVS(#0) 1 显示伺服画面











图 321(a) 伺服调整画面







SYSTEM
SYSTEM
报警详细信息

①
②
③
④
⑤B65325CM01 βi SVM障排处理办法 3障排处理办法
43













图 321(b) Series15i 伺服报警画面

报警位名称表示

表 321 报警位名称列表
#7 #6 #5 #4 #3 #2 #1 #0
①报警 1 OVL LVA OVC HCA HVA DCA FBA OFA
②报警 2 ALD EXP
③报警 3 CSA BLA PHA RCA BZA CKA SPH
④报警 4 DTE CRC STB PRM
⑤报警 5 OFS MCC LDM PMS FAN DAL ABF
⑥报警 6 SFA
⑦报警 7 OHA LDA BLA PHA CMA BZA PMA SPH
⑧报警 8 DTE CRC STB SPD
⑨报警 9 FSD SVE IDW NCE IFE

注释
空栏报警代码


报警详细信息 ①
②
③
④
⑤
⑥
⑦
⑧
⑨3障排处理办法 βi SVM障排处理办法 B65325CM01

44
322 诊断画面

伺服调整画面报警项目应表示诊断画面号

表 322 伺服调整画面诊断画面（诊断）应
报警号 Series15i Series16i18i21i0i
①报警 1
②报警 2
③报警 3
④报警 4
⑤报警 5
⑥报警 6
⑦报警 7
⑧报警 8
⑨报警 9
No 3014+20(X1)
3015+20(X1)
3016+20(X1)
3017+20(X1)
――――――
――――――
――――――
――――――
――――――
No 200
201
202
203
204
――
205
206
――







图 322 诊断画面


①
②
③
④
⑤
⑦
⑧B65325CM01 βi SVM障排处理办法 3障排处理办法
45
323 载报警（软发热OVC）

（报警判法）
#7 #6 #5 #4 #3 #2 #1 #0
①报警 1 OVL LVA OVC HCA HVA DCA FBA OFA
（处理办法）
(1) 确认电机否振动
⇒ 电机果振动电机产生电流会发出报警
(2) 确认电机动力线连接否正确
⇒ 果电机动力线连接弄错电机会产生异常电流发出报警
(3) 确认伺服参数否正确
⇒ 载报警需参数进行计算请务必设定标准设定值标准
设定值请参阅参数说明书(B65270CM)

No 1877 (FS15i) 载保护系数(OVC1)
No 2062 (FS16i)

No 1878 (FS15i) 载保护系数(OVC2)
No 2063 (FS16i)

No 1893 (FS15i) 载保护系数(OVCLMT)
No 2065 (FS16i)


No 1785 (FS15i) 载保护系数(OVC21)
No 2162 (FS16i)

No 1786 (FS15i) 载保护系数(OVC22)
No 2163 (FS16i)

No 1787 (FS15i) 载保护系数(OVCLMT2)
No 2164 (FS16i)

(1) 测定伺服放器模件实际电流(IRIS)波形制动销钉板伺服放
器模件连接器 JX5 进行连接（制动销钉板α系列物件）
驱动电机测定实际电流(IRIS) FANUC AC SERVO MOTOR β is
series Descriptions(规格说明书)(B65302EN)载特性曲线进行较确认
机床负载否起电机力加减速中实际电流值较时时间常
数短 3障排处理办法 βi SVM障排处理办法 B65325CM01

46
324 反馈断线报警

（报警判法）
#7 #6 #5 #4 #3 #2 #1 #0
①报警 1 OVL LVA OVC HCA HVA DCA FBA OFA
②报警 2 ALD EXP
⑥报警 6 SFA

FBA ALD EXP SFA 报警容 处理办法
1 1 1 0 硬件断线（分离式Ａ／Ｂ相） 1
1 0 0 0 软件断线（全闭环） 2
1 0 0 1 软件断线（αi 脉编码器） 3
（处理办法）
处理办法 1：分离式 AB 相标尺时发生确认 AB 相检测器否正确连接
处理办法 2：速度反馈脉变化位置反馈脉变化量时候发生
半闭环配置情况会发生请确认分离式检测器否正
确输出位置反馈脉正确时候电机位置标尺位置间
间隙较判断：发生机床开始运转时电机反
转运行情况

#7 #6 #5 #4 #3 #2 #1 #0
No 1808 (FS15i) TGAL
No 2003 (FS16i)
TGAL(#1) 1 软件断线报警检测水参数

No 1892 (FS15i) 软件断线报警水
No 2064 (FS16i)
标准设定值 4 电机转动 18 圈发出报警
请该值设定较值

处理办法 3：置脉编码器发送绝位置数相位数步取
时发生请ＮＣ电源ＯＦＦ状态插拔次脉编码器
电缆次发生报警时请更换脉编码器

B65325CM01 βi SVM障排处理办法 3障排处理办法
47
325 热报警

（报警判法）
#7 #6 #5 #4 #3 #2 #1 #0
①报警 1 OVL LVA OVC HCA HVA DCA FBA OFA
②报警 2 ALD EXP

OVL ALD EXP 报警容 处理办法
1 1 0 电机热 1
1 0 0 放器热 1
（处理办法）
处理办法 1：发生长时间连续运转情形实际够判断电机放
器温度升停止会观察状态关掉电源 10 分钟左
右次发生报警认恒温器问题
报警间断发生时请通调时间常数者增加程序中停止时
间抑制温度升

326 伺服参数设定非法报警

伺服参数设定非法报警设定值超容许范围部值计算中出现溢流等情
况发生
伺服端检测出参数非法时候报警４＃４(PRM)＝１
（报警判法）
#7 #6 #5 #4 #3 #2 #1 #0
④报警 4 DTE CRC STB PRM
伺服端参数错误报警发生时详细状况处理办法请参阅参数说明书
(B65270CM)

（参考）
伺服端确认检测出参数非法细节方法

（Series15i 情形）
报警号伺服报警画面（图 321(b)）DETAIL PRM ALM(参数错误细
节)项目中显示

（Series16i18i21i0iPower Mate i 情形）
报警号诊断画面 No352 中显示

3障排处理办法 βi SVM障排处理办法 B65325CM01

48
327 脉编码器分离式串行检测器相关报警

（报警判位）
#7 #6 #5 #4 #3 #2 #1 #0
①报警 1 OVL LVA OVC HCA HVA DCA FBA OFA
②报警 2 ALD EXP
③报警 3 CSA BLA PHA RCA BZA CKA SPH
④报警 4 DTE CRC STB PRM
⑤报警 5 OFS MCC LDM PMS FAN DAL ABF
⑥报警 6 SFA
⑦报警 7 OHA LDA BLA PHA CMA BZA PMA SPH
⑧报警 8 DTE CRC STB SPD
⑨报警 9 FSD SVE IDW NCE IFE

(1) 置脉编码器时
根报警 1235 进行判断报警位含义示

报警 3 报警 5 1 报警 2
CSA BLA PHA RCA BZA CKA SPH LDM PMA FBA ALD EXP
报警容 处理办法
1 软相报警 2
1 电池电压零报警 1
1 1 1 0 计数错误报警 2
1 相报警 2
1 电池电压降报警（注意） 1
1 脉错误报警
1 LED 异常报警

注意
没处理办法编号者认脉编码器障请更换脉编码
器

B65325CM01 βi SVM障排处理办法 3障排处理办法
49
(2) 分离式串行检测器
根报警７进行判断报警位含义示

报警 7
OHA LDA BLA PHA CMA BZA PMA SPH
报警容 处理办法
1 软相报警 2
1 脉错误报警
1 电池电压零报警 1
1 计数错误报警 2
1 相报警 2
1 电池电压降报警（注意） 1
1 LED 异常报警
1 分离式检测器报警 3

注意
没处理办法编号者认脉编码器障请更换脉编码
器

(处理办法)
处理办法 1：电池相关报警
请确认电池否连接电池连接第次电源接入时会出现电池
零报警时候请断开电源然接通电源次出现报警时请
确认电池电压出现电池电压降报警时确认电压请更换电池

处理办法 2：噪音发生报警
间断发生急停解发生报警时候报警噪音引
起请务必做防止噪音策做防止噪音策然发
生报警时请更换检测器

处理办法 3：分离式检测器检测出报警
系分离式检测器检测出报警请咨询检测器制造商 3障排处理办法 βi SVM障排处理办法 B65325CM01

50
(3) 串行通信相关报警
根报警 4报警 8 进行判断

报警 4 报警 8
DTE CRC STB DTE CRC STB
报警容
1
1
1
系串行脉编码器通信报警
1
1
1
系分离式串行脉编码器通信报警

处理办法：串行通信正常进行请确认电缆正确连接没断线发
生 CRCSTB 时候噪音缘请做噪音
防止策通电定会发生报警时认脉编码
器放器控制基板脉模件障


328 报警

（报警判法）
#7 #6 #5 #4 #3 #2 #1 #0
⑤报警 5 OFS MCC LDM PMS FAN DAL ABF

OFS DAL ABF 报警容 处理办法
1 反馈致报警 1
1 半—全误差报警 2
1 电流偏移异常报警 3

（处理办法）
处理办法 1：位置检测器速度检测器移动方逆时候发生请确认分离
式检测器旋转方电机旋转方逆时请采取
处理办法
AB 相检测器：请 A A 相反连接
串行检测器：请分离式检测器信号方逆设定
90B0 系列 G(07)版更新版 AB 相检测器根述设定
够信号方反转
B65325CM01 βi SVM障排处理办法 3障排处理办法
51
#7 #6 #5 #4 #3 #2 #1 #0
No 1960 (FS15i) RVRSE
No 2018 (FS16i)
RVRSE(#0) 分离式检测器信号方逆转
0 会分离式检测器信号方逆转
1 分离式检测器信号方逆转

电机分离式检测器间存较扭力时快速加减速时会发生报警
种情况请变更检测水

#7 #6 #5 #4 #3 #2 #1 #0
No 1741 (FS15i) RNLV
No 2201 (FS16i)
RNLV(#1) 反馈致报警检测水变更
1 等 1000min1 检测
0 等 600 min1 检测

处理办法 2：电机位置分离式检测器位置差半—全误差水
时候发生请确认双重位置反馈变换系数否正确设定正确
设定时候请调高报警水改变报警水然发生报警时
请确认标尺连接方

No 1971 (FS15i) 双重位置反馈变换系数（分子）
No 2078 (FS16i)

No 1972 (FS15i) 双重位置反馈变换系数（分母）
No 2079 (FS16i)




No 1729 (FS15i) 双重位置反馈 半—全误差水
No 2118 (FS16i)
［设定值］ 检测単位 设定值 0 时予检测

处理办法 3：电流检测器电流偏移量（相急停中电流值）异常变
执行电源 ONOFF 然次发生报警时判断电流检
测器异常βi 系列请更换放器

电机转动 1 圈反馈
脉数（检测单位）
变换系数＝
100 万 4保险丝印制电路板等更换方法 βi SVM障排处理办法 B65325CM01

52
4 保险丝印制电路板等更换方法

警告
更换保险丝印制电路板时请务必确认充电中显示ＬＥＤ（红）
熄灭状态

更换伺服放器模件保险丝印制电路板等时候请参阅页表确认步
骤参阅位置进行更换

注释
1 保险丝断线时认连接伺服放器设备（传感
器等）电源短路造成
请确认设备没异常进行更换
没排原情形导致保险丝次断线
2 请非 FANUC 公司供保险丝
3 保险丝印制电路板标示机床盖章标示注意弄
错额定值
B65325CM01 βi SVM障排处理办法 4保险丝印制电路板等更换方法
53
41 保险丝印制电路板更换方法

够伺服放器正面插拔印制电路板
SVM14iSVM120i

























插入印制电路板时候序相反
请确认钩子已完全嵌入箱体中
果没完全嵌入箱体会处浮起状态遇种情形势请次拔出
重新插入



抓住钩子
拉紧前
印制电路板 4保险丝印制电路板等更换方法 βi SVM障排处理办法 B65325CM01

54
SVM140i SVM180i

抓住钩子

拉紧前
印制电路板


插入印制电路板时候序相反
请确认钩子已完全嵌入箱体中
果没完全嵌入箱体会处浮起状态遇种情形势请次拔出
重新插入


411 印制电路板图形编号

SVM
型号 图号
SVM14i ～ 20i A20B2101009*
SVM140i ～ 80i A16B3200051*
B65325CM01 βi SVM障排处理办法 4保险丝印制电路板等更换方法
55
412 保险丝实际安装位置

SVM 印制电路板实际安装种保险丝
1) A20B21010050


印制电路板
FU1（32A）
（额定标示色：白）

2) A20B21000051*



















保险丝说明
记号 图号
FU1 A60L00010290LM32C

印制电路板
FU1 32A
（额定标示色 ：白） 4保险丝印制电路板等更换方法 βi SVM障排处理办法 B65325CM01

56
42 风扇电机更换方法

421 部风扇电机情形 SVM14iSVM120i

1 风扇连接器拉
2 住风扇单元正面取吊耳
3 取风扇单元部挂钩
4 斜着拉



更换风扇电机时注意电机
电缆拉引位置
风扇单元
风扇电机
吹出方
风扇安装孔
风扇连接器 B65325CM01 βi SVM障排处理办法 4保险丝印制电路板等更换方法
57
422 部风扇电机情形 SVM140iSVM180i

1 抓住风扇单元吊耳两方拉箭头方（图方）

撒

风扇单元
更换风扇电机时注意电机体
连接器
握住电机两吊耳箭头方
（图方）拉
吊耳
注意连接
器
白色
黑色
红色 4保险丝印制电路板等更换方法 βi SVM障排处理办法 B65325CM01

58
423 外部风扇电机

1 取安装金属板螺丝（４）拉出风扇单元




风扇电机吹出
方
M4 螺丝（4 ）










III βi SVPM 启动步骤

B65325CM01 βi SVPM 启动步骤 1概
61
1 概

篇介绍构成素检查确认放器启动等
• 构成
• 启动步骤
• 运行检查方式
• 伺服放器定期维护

2构成 βi SVPM 启动步骤 B65325CM01

62
2 构成 B65325CM01 βi SVPM 启动步骤 2构成
63
21 构成

FANUC 伺服放器βi 系列列单元零部件构成

(1) βi SVPM (基)
(2) ＡＣ电抗器 (基)
(3) 类连接器(连接电缆) (基)
(4) 保险丝 (选择)
(5) 电源变压器 (选择) 2构成 βi SVPM 启动步骤 B65325CM01

64
构成素（例）


AC200V240V
AC 电抗器 电磁接触器
雷击保护器
24V 电源 CXA2C
SVPM
CX4急停
CNC COP10B
(FSSB IF)
TB1 TB2
断路器 1
断路器 2
5A
G
Spindle
Motor
装置電源
CZ2L CZ2M CZ2N
Servo
Motor
G
TB3
电池 CX5X
JF3
JF2
JF1
Pulse Coder IF
JY1
JX6
JF3
JF2
JF1
JYA4
JYA3
JYA2
JA7B
JA7A SPM
CNC
Servo Motor
Servo Motor
Servo Motor
LM SM OVR
Pulse Coder IF
Spindle IF
Spindle Motor
Position Coder
Spindle Sensor
CX3















风扇单元 风扇单元

JA2
装置电源

注释
1 放器 24V 电源必须稳压电源
2 电机制动 24V 电源
3 必须设置断路器电磁接触器AC 电抗器
4 防止雷击时产生击电压强电盘电源插入口附装置造
成破坏请线路线路线路接间设置雷涌保护器
5 AC 电抗器途 AC 线路滤器样代

B65325CM01 βi SVPM 启动步骤 2构成
65
22 构成素

221 βiSVPM

(1) βiSVPM
名称 订货规格号 单元图号
动力印制电路板
图号
控制印制电路板
图号
模件印制电路板
图号
βi SVPM255i
TypeA
A06B6134
H201#A
A06B6134
C201#A
A20B29020670
βi SVPM255i
TypeC
A06B6134
H201#C
A06B6134
C201#C
A16B21010020
A20B29020672
βi SVPM211i
TypeA
A06B6134
H202#A
A06B6134
C201#A
A20B29020670
βi SVPM211i
TypeC
A06B6134
H202#C
A06B6134
C202#C
A16B21010021
A20B29020672
βi SVPM215i
TypeA
A06B6134
H203#A
A06B6134
C203#A
A20B29020670
βi SVPM215i
TypeC
A06B6134
H203#C
A06B6134
C203#C
A16B21010022






A20B21010012
A20B29020672
βi SVPM355i
TypeA
A06B6134
H301#A
A06B6134
C301#A
A20B29020670
βi SVPM355i
TypeC
A06B6134
H301#C
A06B6134
C201#C
A16B21010023
A20B29020672
βi SVPM311i
TypeA
A06B6134
H302#A
A06B6134
C301#A
A20B29020670
βi SVPM311i
TypeC
A06B6134
H302#C
A06B6134
C302#C
A16B21010024
A20B29020672
βi SVPM315i
TypeA
A06B6134
H303#A
A06B6134
C303#A
A20B29020670
βi SVPM315i
TypeC
A06B6134
H303#C
A06B6134
C303#C
A16B21010025





A20B21010013

A20B29020672 3启动步骤 βi SVPM 启动步骤 B65325CM01

66
3 启动步骤 B65325CM01 βi SVPM 启动步骤 3启动步骤
67
31 启动时步骤（概）

请确认 CNC伺服电机轴电机伺服放器等规格连接连
线接通电源

(1) 接通断路器前请确认连接时电源电压
→见 32 节

(2) 根 SVPM 种类需时进行设定请预先确认
→见 33 节

(3) 请接通电源 CNC 设定初始参数

关伺服参数初始设定请参阅列设计书
FANUC AC SERVO MOTOR αisαiβis series 参数说明书 B65270CM

关轴参数初始设定请参阅列设计书
FANUC AC SPINDLE MOTOR αiβi series 参数说明书 B65280CM

(4) 关初始启动时调整障排已第 4 章进行描述
• SVPM 调整印制电路板选件方法
•轴传感器调整值
3启动步骤 βi SVPM 启动步骤 B65325CM01

68
32 电源连接

321 电源电压容量检查

接通电源前先测量 AC 电源电压根电源电压采取处理办法
表 321(a) AC 电源电压采取处理办法 (200V 输入类型)
容许电压变动范
围
标准值 处理办法
15
+10
3 相 200V～240V

注释)
电压果达额定输
入值输出达额定
量
15
+10
380V～550V

绝缘变压器输入电压需
200V

电源模块输入电源规格表 321(b)示
请配备电源容量负荷电压较低情况正常工作充足电
源

表 321(b) AC 电源电压设计(200V 输入类型)
型号 SVPM2
55i
SVPM3
55i
SVPM2
11i
SVPM3
11i
SVPM2
15i
SVPM3
15i
标准额定电压 AC200V∼240V 15+10
电源频率 5060Hz ±1Hz
电源设备容量（电路）[kVA] 9 17 22
电源容量（控制电路） 24V 15A ±10


322 接保护连接

请确认接保护连接否正确


323 漏泄电流漏电断路器选择

请确认漏电断路器选择否正确
B65325CM01 βi SVPM 启动步骤 3启动步骤
69
33 参数初始设定

(1) 伺服电机
关伺服参数初始设定请参阅列说明书
FANUC AC SERVO MOTOR αisαiβis series 参数说明书 B65270CM

(2) 轴电机
关轴参数初始设定请参阅列说明书
FANUC AC SPINDLE MOTOR αiβi series 参数说明书 B65280CM 4操作确认方法 βi SVPM 启动步骤 B65325CM01

70
4 操作确认方法
B65325CM01 βi SVPM 启动步骤 4操作确认方法
71
41 SVPM 概

411 连接器 STATUS（状态）显示 LED 构成

编号 名称 备注
1 STATUS1 状态显示 LED 轴
2 STATUS2 状态显示 LED 伺服
3 CX3 电源电磁接触器控制信号
4 CX4 急停信号(ESP)
5 CXA2C DC24V 电源输入
6 COP10B 伺服 FSSB 接口
7 CX5X 绝脉编码器电池
8 JF1 脉编码器L 轴
9 JF2 脉编码器M 轴
10 JF3 脉编码器N 轴
11 JX6 断电备模件
12 JY1 负载表速度表
模拟倍率
13 JA7B 轴输入接口
14 JA7A 轴输出接口
15 JYA2 轴传感器 MiMZi
16 JYA3 α位置编码器
外部次旋转信号
17 JYA4 （未）
18 TB3 DC 链路端子台
19 DC 链路充电显示 LED
见警告
20 TB1 连接电源端子台
21 CZ2L 伺服电机动力线 L 轴
22 CZ2M 伺服电机动力线 M 轴
23 CZ2N 伺服电机动力线 N 轴
24 TB2 轴电机动力线
25

凸缘接攻丝孔

警告
LED 点亮时千万触摸模件者连接电缆部件
样做十分危险


1819 20
21
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
11
12
13
14
15
16
17
22
24
23
25 4操作确认方法 βi SVPM 启动步骤 B65325CM01

72
412 启动步骤

列步骤确认项目

11 通常运行方式（S 指令）运行轴电机
10
10 确认输入电磁接触器已处 ON 状态 见 423 项
9 解急停
7 确认检测器波形 见 434 项
6 设定确认轴相关参数
（需参数说明书）
没
5 准备确认 PMC 梯形程序
4 没实绩机型
OK
发生警报

Ⅳ 障排 3 确认 STATUS 显示
（见 431 项）
2 ＳＶＰＭ供应控制电源(DC24V)
1 请确认连接
8 确认 CNC 参数（包含伺服参数）
发生警报
13 请确认伺服电机运行
12 确认轴选项功
操作异常 见参数说明书
Ⅳ 障排
B65325CM01 βi SVPM 启动步骤 4操作确认方法
73
42 SVPM 转换器部分

421 印制电路板检查端子

SVPM 连接器 JX6 中输出输入电流检查信号
观测时请伺服止动销板 A06B6071K290（见表）

表 421(a) 检查端子
检查部位 容 观测场 备注
IR L1 相(R 相)电流 JX6pin1
IS L2 相(S 相)电流 JX6pin2
0V 观测基准点 JX6pin121416
放器输入方+符
号L1L2 相电流旦
超电流报警水
SVPM 进入报警状态

表 421(b) IRIS 电流换算值
型号 电流换算
SVPM55i 133A1V(中心 25V)
SVPM11i 133A1V(中心 25V)
SVPM15i 200A1V(中心 25V)

关伺服止动销板 A06B6071K290

通伺服止动销板观测 SVPM 部信号

(1) 规格
备货规格 细节 备注
印制电路板
A20B10050340
安装止动销
印制电路板
A06B6071K290 电缆
A6602042T031#L200R0
20 芯 1 1 电缆
长度：200mm

印制电路板：A20B10050340


A20B10050340
●⑤ ●④ ●③ ●② ●①
●⑩ ●⑨ ●⑧ ●⑦ ●⑥
● ● ● ● ●
● ● ● ● ●
100mm
34mm
CN1 CN2
15 14 13 12 11
20 19 18 17 16
4操作确认方法 βi SVPM 启动步骤 B65325CM01

74
电缆 ：A6602042T031#L200R0



約 200mm


CN1 CN2 间 1 1 布线
连接器插脚号止动销编号相应

(2) 连接
电缆连接 SVPM 前方连接器 JX６


SVPM
JX6
A20B10050340
CN1 CN2



422 STATUS 显示 LED 灯亮时确认

表 422 确认方法相应处理
编号 障原 确认方法 处理办法
1
控制电路 DC24V 电源没
接通
确认连接器 CXA2C 电源连接
否正常
2 控制电路中保险丝已熔断 确认 FU1 没熔断
更换保险丝果刚更换保险丝度熔断
需更换控制印制电路板
3 布线误｡ 请说明书进行正确布线
4 印制电路板电源电路发生障
+5V 电源显示 LED 点亮请确
认控制电源电压
更换印制电路板（控制印制电路板驱动印
制电路板动力印制电路板）
B65325CM01 βi SVPM 启动步骤 4操作确认方法
75
423 电磁接触器法开启时确认

(1) 没解急停
→请确认连接情况
(2) 关连接器连接存问题
(a) 请确认连接器连接部位
(3) 驱动电磁接触器电源没接通
→请确认电磁接触器线圈两端连接电压
(4) 驱动电磁接触器继电器良
→请确认连接器 CX31 插脚 33 插脚间否接通


SVPM
电磁接触器驱动
继电器
CX31
CX33


(5) SVPM 良
→请更换 SVPM
4操作确认方法 βi SVPM 启动步骤 B65325CM01

76
43 SVPM 轴部分

431 关 STATUS１显示

ALM
ERR
STATUS 1

编
号
ALM ERR STATUS 容
1 显示
控制电源未接通
电源电路良
2 50
控制电源接通 约 1 秒钟显示轴软件系列
显示软件系列 2 位数
例） 50 软件类型 9D50
3 04
显示轴软件版 约 1 秒钟
010203···应 ABC···
例）04软件版D版
4
－－
闪烁
CNC 电源未接通
等串行通信参数加载结束
5
－－
点亮
参数加载结束电机没激活
6 00 电机没激活
7 点亮 显示 01～
报警状态
SVPM法正常运行
Ⅳ2 请参阅报警显示容
8 点亮 显示 01～
错误状态
序合适参数设定误 B65325CM01 βi SVPM 启动步骤 4操作确认方法
77
432 启动时障排

4321 STATUS１显示总闪烁－－

(1) CNC 没轴相关通信报警信息显示时
请确认 CNC 软件版设定位设定否正确
(2) CNC 显示通信报警信息时
编
号
障原 确认方法 处理办法
1 电缆误
连接电气光适配器电缆直接连接
NC 电缆规格请确认配线
更换正确电缆
2 电缆良 确认连接器机架等部分 请修理更换电缆
3 印制电路板良 请更换单元


4322 电机运行时

(1) SVPM STATUS１显示变成 时
请确认否已输入控制轴输入信号
（例第 1 轴信号）
FS0i #7 #6 #5 #4 #3 #2 #1 #0
G070 MRDYA SFRA SRVA
G071 *ESPA
G029 *SSTP
G030 SOV7 SOV6 SOV5 SOV4 SOV3 SOV2 SOV1 SOV0

(2) SVPM STATUS１显示变成00时
尚未输入轴速度指令
请参阅 FANUC AC SPINDLE MOTOR αiβi series 参数说明书第 1 章检查
相关参数

(3) SVPM STATUS１显示报警号时
请参阅 IV 篇中该报警号应项目

4操作确认方法 βi SVPM 启动步骤 B65325CM01

78
4323 转速指令时

(1) 转速总指令时
请确认参数
请参阅 FANUC AC SPINDLE MOTOR αiβi series 参数说明书第 1 章检
查相关参数

(2) SVPM STATUS１显示报警号时
请参阅 IV 篇中该报警号应容


4324 非切削时轴产生振动发出噪音时

(1) 达特定转速者仅特定转速产生振动时

请确认电机惯性移动时否振动现象
请噪音变情况检查机械性振动发生源
轴惯性移动方法种机床端序关请
机床制造商洽询
A 输入信号 MPOF(FS0iG73#2) 设1时条件惯性移动
B 参数 ALSP(FS0i4009#2)设1时者轴旋转中 CNC 电
源切断时轴开始惯性移动（轴放器显示报警 24）

(2) 电机停止时常产生噪音时

A 请参阅篇 434 项确认轴传感器波形进行调整

B 请确认电机型号固参数否致
详情请参阅 FANUC AC SPINDLE MOTOR αiβi series 参数说明书
固参数列表

C 请进行速度环路增益等调整
详情请参阅 FANUC AC SPINDLE MOTOR αiβi series 参数说明书
第 1 章

B65325CM01 βi SVPM 启动步骤 4操作确认方法
79
4325 超程振荡时

请参阅 FANUC AC SPINDLE MOTOR αiβi series 参数说明书第 1 章进行
参数调整


4326 切削力降加减速时间较长时

(1) 负载表没显示输出
A 皮带滑等机械方面素

(2) 负载表显示输出时
A 请确认扭矩限制信号输入否误

FS0i #7 #6 #5 #4 #3 #2 #1 #0
G070 TLMHA TLMLA

B 请确认电机部件号固参数否致
详情请参阅 FANUC AC SPINDLE MOTOR αiβi series 参数说明书
固参数列表

C 请确认输出限制模式设定否误
详情请参阅 FANUC AC SPINDLE MOTOR αiβi series 参数说明书
第 1 章
4操作确认方法 βi SVPM 启动步骤 B65325CM01

80
433 错误状态显示功

机床启动时够方便排障参数设定错误序合适时 SVPM
STATUS1 会点亮错误 LED（黄）显示错误号

错误 LED(黄)点亮
显示错误代码(01～)
status

请确认特定功 SVPM 轴部分操作时SVPM STATUS1 否显
示错误状态

显示 错误状态描述 处理办法
01
没输入*ESP(包括急停信号输入信号接点信号两种)
MRDY(设备准备绪信号)输入 SFR(正选转
指令)SRV(反旋转指令)ORCM(定指令)
请确认*ESP MRDY 序
MRDY注意 MRDY 信号／
参数设定(NO4001#0)
03
参数设定没位置传感器(进行位置控
制)(No4002#32100000)输入 Cs 轮廓控制指令
时电机会激活
确认参数设定
04
参数设定没位置传感器(进行位置控
制)(No4002#32100000)输入伺服方式（刚性攻
丝Cs 轴控制等）轴步控制指令
时电机会激活
确认参数设定
05
没设定定功选参数输入 ORCM(定指
令)
确认定功参数设定
06

没设定输出切换控制功选参数选择低速特
性绕组(RCH1)
确认输出切换控制功参数设定动力线状态
确认信号(RCH)
07
输入 Cs 轮廓控制指令没输入 SFR(正旋转指
令)SRV(反旋转指令)
确认序
08
输入伺服方式（刚性攻丝Cs 轮廓控制等）控制指令
没输入 SFR(正旋转指令)SRV(反旋转指令)
确认序
10 输入 Cs 轮廓控制指令指定方式(伺服方式
轴步控制定)
Cs 轮廓控制指令中选择方式
转移方式时请解 Cs 轮廓控制指令进
行
11 输入伺服方式(刚性攻丝轴定位等)指令指定
方式(Cs 轮廓控制轴步控制定)
伺服方式指令中选择方式
转移方式时请解伺服方式指令进行
12 输入轴步控制指令指定方式(Cs 轮廓控
制伺服方式定)
轴步控制指令中选择方式
转移方式时请解轴步控制指令进
行
13 输入定指令指定方式(Cs 轮廓控制伺服
方式轴步控制)
定指令中采方式
转移方式时请解定指令进行
14 时输入 SFR(正旋转指令) SRV(反旋转指令) 请指定某方
17 速度检测器参数设定(NO4011#210)恰没设
定相符速度检测器
确认参数设定 B65325CM01 βi SVPM 启动步骤 4操作确认方法
81
显示 错误状态描述 处理办法
18 参数设定没位置传感器(进行位置控
制)(No4002#32100000)指定位置编码器方式定

请确认参数设定输入信号
24 位置编码器方式定中连续进行分度时初增量操
作(INCMD1)紧接着输入绝位置指令
(INCMD0)
确认 INCMD(增量指令)
接着出绝位置指令时定先进行绝位置
指令定
29 参数设定短时间定功(No4018#60
No4320～4323≠0)
βi 系列 SVPM 法短时间定功请
方式定
31 硬件构成轴 FAD 功
时电机会激活
请确认 CNC 机型


434 反馈信号波形确认

检测器构造测量部位连接器连接相请参阅表
4341 检查波形检查端子位轴检查板

表 434(a)轴检查板检查端子ＳＶＰＭ输入信号应列表
检查
端子名
ＳＶＰＭ输入信号
(连接器名
pin 编号)
传感器名 备注
PA1
PB1
JYA2pin56
JYA2pin78
MiMZi 传感器
PS1 JYA2pin12 MZi 传感器（次旋转信号）
EXTSC1 JYA3pin15 接开关（外部次旋转信号）

关α位置编码器请伺服止动销板 A06B6071K290 直接观测 SＶPM
输入信号
4操作确认方法 βi SVPM 启动步骤 B65325CM01

82
4341 Mi 传感器MZi 传感器

表 4341
测量部位 测量条件 波形例
PA1PB1


转速等
1500min1


旋转方 CW

检测齿轮
电机
CW

PA1(PA2)
PB1(PB2)
Vpp
Vphase
Voffs
0V
ＡＢ相波形


Vrip
PA1PB1(PA2PB2)
ＡＢ相脉动

仅限 MZi 传感器

(Z *Z)
Voffz
0V
Vpz
Ｚ相波形


测量项目 标准值 测量方法 调整方法
Vpp 05 ∼ 12V pp
VoffsVoffsz 25V ± 100mV 数字电压表 DC 效范围
Vphase 90±3°
Vrip < 70mV
Vpz > 05V
MiMZi 传感器般需调整
Voffs Voffz 检查电进行调整

B65325CM01 βi SVPM 启动步骤 4操作确认方法
83
435 轴检查板

通连接轴检查板
① 观测种信号波形
② 观测部数
③ 检查轴参数设定值

4351 轴检查板规格图号

系轴检查板规格图号

表 4351 轴检查板规格图号
规格图号 印制电路板图号 单元
A06B6078H001 A20B20010830 βi 系列 SVPM

4352 轴检查板连接

(1) βi 系列

JY1B JX4B
JY1A JX4A
JX6
轴检查板
A20B20010830
相 JY1 输出
SVPM
JY1



4操作确认方法 βi SVPM 启动步骤 B65325CM01

84
4353 检查端子输出信号

(1) βi 系列 SVPM ＃A （A 类）
检查端子 信号名 检查端子 信号名
LM 负载表信号 PA1 A 相正弦波信号 1
SM 速度表信号 PB1 B 相正弦波信号 1
CH1
观测部数模拟输出
(U 相电流 IU ) PS1 Z 相正弦波信号 1
CH2
观测部数模拟输出
(电机速度 TSA1638min1V) PA2
CH1D 观测部数位输出 PB2
CH2D 观测部数位输出 PS2
VRM PA3
LSA1 PB3
EXTSC1 外部次旋转信号(MAIN) PA4
LSA2 PB4
EXTSC2 OVR2 模拟倍率指令
PAD 15V
PBD 5V DC+5V 电源检查
PSD 15V
GND 0V

(2) βi 系列 SVPM ＃C （C 类）
检查端子 信号名 检查端子 信号名
LM
速度表信号（通参数设定切换负
载表信号） PA1
SM PB1
CH1
观测部数模拟输出
(U 相电流 IU ) PS1
CH2
观测部数模拟输出
(电机速度推测值1638min1V) PA2
CH1D 观测部数位输出 PB2
CH2D 观测部数位输出 PS2
VRM PA3
LSA1 PB3
EXTSC1 PA4
LSA2 PB4
EXTSC2 OVR2 模拟倍率指令
PAD 15V
PBD 5V DC+5V 电源检查
PSD 15V
GND 0V
B65325CM01 βi SVPM 启动步骤 4操作确认方法
85
检查端子构成

LM
LSA2
SM
EXTSC2
VRM
0V
PA2
PB2
PS2
0V
PAD
PBD
PSD
5V
15V
15V
PIL
操作
钮
显示部
CH1
CH1D
CH2
0V
PA1
PB1
PS1
0V
LSA1
EXTSC1
CH2D
PA3
PB3
PA4
PB4
0VR2
DOWN
DATA
SET
UP MODE



436 基轴检查板数观测方法

4361 概述

通轴检查板ＳＶＰＭ控制轴数字值转换成模拟电
压通示波器等进行观测作部数观测具备观测双
通道模拟输出(CH1CH2输出：5V～+5V)观测位数等特定位
输出（CH1DCH2D）外5 位显示器进行部数显示

4362 特性

项目
观测部位 CH1CH2 CH1DCH2D
输出电压范围 5V～+5V H2Vmin
L08Vmax
分辨率
约 39mV
(10V256)
－
外部测量仪输入阻抗 10kΩmin 10kΩmin
4操作确认方法 βi SVPM 启动步骤 B65325CM01

86
4363 观测方法

通轴检查板 4 设定开关进行数设定 5 位显示器模
拟电压输出电路通道 1通道 2(LMSM CH1CH2)中输出部数通
道 12 8 位 DA 转换器输出通道 12 检查端子间应关系表
示

观测部位 检查端子
通道 1 CH1
CH1D数 0 位
通道 2 CH2
CH2D数 0 位


4364 观测数设定方法

① 时住 4 设定开关秒钟显示器显示[FFFFF]
② 关掉开关[MODE]开关显示器显示[d00]时进入部数观测
模式
③ 进入模式电机然正常运行[MODE]开关状态
[UP]者[DOWN]开关显示器显示[d00]～[d12]范围变化
④ 输出轴部数时址 d01～d12 关系
d01～04：指定输出显示器数编号数移位量显示格式（10 进
制 16 进制）
d05～08：指定输出通道 1 数编号数移位量偏移
d09～d12：指定输出通道 2 数编号数移位量偏移
⑤ 作数设定方法③项述方式选择址[dxx]
⑥ 关闭[MODE]开关05 秒[dxx]显示消失接 1 秒钟显示数
1 秒钟[UP]者[DOWN]开关改变设定数
⑦ 果 1 秒钟没开关进行数设定变更
种情况通开闭[MODE]开关回⑥项重新操作 B65325CM01 βi SVPM 启动步骤 4操作确认方法
87
4365 关址容初始值(SVPM)

［显示器输出］
址 容 初始值
d01 设定数号 0
d02 数输出时移位量（0 31 位） 0
d03
数移位方
0右移
1左移
0
d04
显示格式
010 进制显示
116 进制显示（0～F）
0

［通道 1 输出］
址 容 初始值
d05 设定数号 218（U 相电流）
d06
数输出时位移量
（0 31 位） 8
d07
数位移方
0右移
1左移
0
d08
偏移
0没偏移
1偏移
1

［通道 2 输出］
址 容 初始值
d09 设定数号 19（电机速度）
d10
数输出时变换量
（0 31 位） 18
d11
数位移方
0右移
1左移
0
d12
偏移
0没偏移
1偏移
1
4操作确认方法 βi SVPM 启动步骤 B65325CM01

88
4366 轴部数输出方式操作原理说明

关数长没特指定 16 位作 32 位(BIT31～BIT00)说明
BIT31 BIT00 BIT01 BIT02 BIT03 ‥‥

(1) 显示器输出例
例 1．10 进制显示
数移位量(d02)010 进制显示(d040)时数 16 位(BIT15～BIT00)
转换成 10 进制(0～ 65535)显示

BIT15 BIT00 BIT01 ‥‥
16BIT
转换 10 进制显示
X X X X X显示器

例 2．16 进制显示
数移位量(d02)016 进制显示(d041)时数 16 位(BIT15～BIT00)
转换成 16 进制(0～ FFFF)显示

BIT15 BIT00 BIT01 ‥‥
16BIT
转换 16 进制显示
X X X X显示器 (第 5 位空白)

例 3．数左移
数移位量(d02)3移位方左(d031) 16 进制显示(d041)时数
BIT12～BIT00＋（ 3 位＝０）转换成 16 进制(0～ FFFF)显示

BIT12 ‥‥
16BIT
转换 16 进制显示
X X X X显示器 (第 5 位空白)
0 0 0BIT00 BIT01


例 4．数右移
数移位量(d02)5移位方右(d030)10 进制显示(d040)时数
BIT20～BIT05 转换成 10 进制(0～ 65535)显示

BIT20 BIT05 BIT06 ‥‥
16BIT
转换 10 进制显示
X X X X X显示器
B65325CM01 βi SVPM 启动步骤 4操作确认方法
89
例 5．数长 16 位数右移
数长 16 位时数移位量(d02)5移位方右(d030)10 进制显
示(d040)时数（前 5 位＝０）＋BIT15～BIT05 转换成 10 进制显
示

BIT15 ‥‥
16BIT
X X X X X显示器
000 BIT05 0 0
转换 10 进制显示


(2) 通道 1 输出例
通数装入 8 位 DA 转换器进行部数通道 1 输出
根装入部数值DA 转换器输出范围5V～+5V请参阅表

部数值
2 进制（10 进制）
d08 设定
(偏移)
通道 1 输出
00000000( 0) 0 5V
11111111( 255) 0 +496V
10000000(128) 1 5V
00000000( 0) 1 0V
01111111( 127) 1 +496V

例 1．数装入例
数移位量(d06)0没偏移(d080)时数 8 位(BIT07～BIT00)
装入 DA 转换器

BIT07 BIT00 BIT01
装入通道 1 输出 DA 转换器中
BIT06 BIT05 BIT04 BIT03 BIT02

例 2．数左移例
数移位量(d06)3移位方左(d071)没偏移(d080)时数
BIT14～BIT00＋（ 3 位＝０）装入 DA 转换器

BIT04 0 0BIT03 BIT02 BIT01 BIT00 0
装入通道 1 输出 DA 转换器中
例 3．数右移例
数移位量(d06)10移位方右(d070)没偏移(d080)时数
BIT17～BIT10 装入 DA 转换器

BIT17 BIT10 BIT11 BIT16 BIT15 BIT14 BIT13 BIT12
装入通道 1 输出 DA 转换器中 4操作确认方法 βi SVPM 启动步骤 B65325CM01

90
例 4．数长 16 位数右移例
数长 16 位时数移位量(d06)10移位方右(d070)没偏移
(d080)时（数前 2 位＝０）＋BIT15～BIT10 装入 DA 转换器


0 BIT10 BIT11 0 BIT15 BIT14 BIT13 BIT12
装入通道 1 输出 DA 转换器中

例 5．偏移例子
数移位量(d06)10移位方右(d070)偏移(d081)时数
BIT17～BIT10 高位 BIT17 位加 1 数装入 DA 转换器中

BIT17 数+1 BIT10 BIT11 BIT16 BIT15 BIT14 BIT13 BIT12
装入通道 1 输出 DA 转换器中
例 6．位数观测例
数移位量(d06)0没偏移(d080)时通检查端子 CH1D HL
电观测数低位(BIT00)位

BIT07 BIT00 BIT01
输出检查端子 CH1D
BIT06 BIT05 BIT04 BIT03 BIT02


(3) 通道 2 输出例
通道 1 输出容样装入数址(d09～d12)
通通道 1 装入电机速度信息通道 2 装入错误量时观测两通
道种变化情况
B65325CM01 βi SVPM 启动步骤 4操作确认方法
91
4367 数号列表

(1) 数号列表
数号 容 数长 备注
数
16 电机速度指令 32 第 12 位(BIT12)单位 min1
19 电机速度 32
第 12 位(BIT12)单位 min1（βiＳＶＰＭ Type Ｃ
推测值）
25 电机速度偏差 32 （速度指令－电机速度）第 12 位(BIT12)单位 min1
4 移动指令 32 ITP 间（通常 8msec）指令脉数
9 位置错误 32 错误脉数 (轴步控制Cs 轮廓控制刚性攻丝)
90 扭矩指令 16 0～±16384
131 速度表数 16 SM 端子
132 负载表数 16 LM 端子
136 位置错误 32 错误脉数（位置编码器方式定位）
轴／CNC 间数
5 速度指令数 16 高速度指令±16384
6 轴控制信号 1 16 见 PMC 轴指令信号 (3)
10 负载表数 16 输出+32767
11 电机速度数 16 高速度±16384
12 轴状态信号 1 16 见轴 PMC 状态信号 (3)
66 轴控制信号 2 16 见 PMC 轴指令信号 (3)
182 轴状态信号 2 16 见轴 PMC 状态信号 (3)
数
218 U 相电源(AD 转换数) 16 8 位左移 10VFS
219 V 相电源(AD 转换数) 16
162 DC 链路部电压 16 8 位左移 1000VFS

(2) 部数换算值
数号 信号名称 容 (移位量设定 8 时)
218 IU Ｕ相电源 放器输入方＋符号
219 IV Ｖ相电源 *1
162 VDC DC 链路电压信号
100V1V

*1
通道 218219 中电流转换值
型号 转换值
SVPM55i 167A1V
SVPM11i 333A1V
SVPM15i 500A1V
4操作确认方法 βi SVPM 启动步骤 B65325CM01

92
(3) 关轴控制信号轴状态信号
列示轴 PMC 信号数号数构成关信号
容请参阅FANUC AC SPINDLE MOTOR αiβi series 参数说明书
（B65280CM） 第 3 章 输入输出信号（CNC⇔PMC）

注释
SVPM 定列位相应

(a) 数号 6：轴控制信号 1
#15 #14 #13 #12 #11 #10 #9 #8
RCH RSL INTG SOCN MCFN SPSL *ESP ARST
#7 #6 #5 #4 #3 #2 #1 #0
MRDY ORCM SFR SRV CTH1 CTH2 TLMH TLML

(b) 数号 66：轴控制信号 2
#15 #14 #13 #12 #11 #10 #9 #8
DSCN SORSLMPOF
#7 #6 #5 #4 #3 #2 #1 #0
RCHHG MFNHG INCMD OVR NRRO ROTA INDX

(c) 数号 12：轴状态信号 1
#15 #14 #13 #12 #11 #10 #9 #8
RCFN RCHP CFIN CHP
#7 #6 #5 #4 #3 #2 #1 #0
ORAR TLM LDT2 LDT1 SAR SDT SST ALM

(d) 数号 182：轴状态信号 2
#15 #14 #13 #12 #11 #10 #9 #8

#7 #6 #5 #4 #3 #2 #1 #0
EXOF SOREN INCST PC1DT

B65325CM01 βi SVPM 启动步骤 4操作确认方法
93
4368 数观测例

(1) 利通道 1 观测位置错误例子
址 容 数设定例
d05 数号 9 9 9 9
d06 数移位量 0 0 1 2
d07 数移位方 0 0 1 1
d08 偏移 1 0 1 1
数单位（注释） 256pFS 512pFS 128pFS 64pFS

注释
FS10V(5V～+5V)

(2) 利通道 2 观测电机速度例子
址 容 数设定例
d09 数号 19 19 19
d10 数移位量 12 13 11
d11 数移位方 0 0 0
d12 偏移 0 0 0
数单元（注释） 256min1FS 512min1FS 128min1FS

注释
FS10V(5V～+5V)

(3) SVPM*11i U 相电源观测



数号 218
观测数设定 +5V
0V
5V
100A
333A1V
移位量 8
移位方 0
偏移 14操作确认方法 βi SVPM 启动步骤 B65325CM01

94
437 基轴检查板参数确认方法

4371 概述

通轴检查板确认ＳＶＰＭ传输参数值
检查板 4 设定开关指定参数号通 5 位显示器检查参数值

4372 参数确认方法

① 时 4 设定开关秒钟显示器显示[FFFFF]
② 关掉开关[MODE]开关显示器显示[d00]时进入部数观测
模式
③ [d00]设置0状态时[MODE][DATA SET]开关 1 秒钟 1
秒钟显示器显示[CCCCC]
④ 关掉开关[MODE]开关显示器显示[Fxxx]时进入轴参数确
认方式（F方式）（方式中电机进行正常运行）
⑤ [MODE]开关状态（显示器处[Fxxx]状态）[UP]者
[DOWN]开关时[Fxxx]数字会增减时设定希确认参数
部编号关参数部编号 NC 参数号间应关系请参阅
参数说明书附录参数列表
⑥ 关闭开关时 1 秒钟时间显示设定部编号相应参数值
（位参数 16 进制显示） B65325CM01 βi SVPM 启动步骤 4操作确认方法
95
438 基 SERVO GUIDE（伺服导）数观测

4381 概述

通伺服调整工具——SERVO GUIDE观测轴部数
项示出通 SERVO GUIDE 观测轴数数观测例子关
SERVO GUIDE 详细方法等请参阅伺服导联机手册

4382 系列版

9D50 系列 G 版（07 版）更新版

4383 通 SERVO GUIDE 观测轴数列表

表示出通 SERVO GUIDE 观测轴数

数种类 数容
SPEED 电机速度
INORM 电机电流振幅
TCMD 扭矩指令
VCMD 电机速度指令
VERR 速度偏差
WMDAT 位置环路移动指令
PERR1 位置错误 1
ORERR 定时位置错误
PCPOS 位置反馈累计值
MCMD 通信周期移动指令
PERR2 位置错误 2
CSPOS 位置反馈累计值
SPCMD CNC 速度指令数
SPCT1 轴控制信号 1
SPCT2 轴控制信号 2
SPST1 轴状态信号 1
SPST2 轴状态信号 2
ORSEQ 定序数
4操作确认方法 βi SVPM 启动步骤 B65325CM01

96
4384 轴控制信号轴状态信号

前项述利 SERVO GUIDE 观测轴 PMC 信号（轴控制信
号 12 轴状态信号 12）
列示出轴控制信号 12 轴状态信号 12 数构成关信号
容请参阅FANUC AC SPINDLE MOTOR αiβi series 参数说明书
（B65280CM） 第 3 章 输入输出信号（CNC⇔PMC）

(a) 轴控制信号 1(SPCT1)
#15 #14 #13 #12 #11 #10 #9 #8
RCH RSL INTG SOCN MCFN SPSL *ESP ARST
#7 #6 #5 #4 #3 #2 #1 #0
MRDY ORCM SFR SRV CTH1 CTH2 TLMH TLML

(b) 轴控制信号 2(SPCT2)
#15 #14 #13 #12 #11 #10 #9 #8
DSCN SORSLMPOF
#7 #6 #5 #4 #3 #2 #1 #0
RCHHG MFNHG INCMD OVR NRRO ROTA INDX

(c) 轴状态信号 1(SPST1)
#15 #14 #13 #12 #11 #10 #9 #8
RCFN RCHP CFIN CHP
#7 #6 #5 #4 #3 #2 #1 #0
ORAR TLM LDT2 LDT1 SAR SDT SST ALM

(d) 轴状态信号 2(SPST2)
#15 #14 #13 #12 #11 #10 #9 #8

#7 #6 #5 #4 #3 #2 #1 #0
EXOF SOREN INCST PC1DT


B65325CM01 βi SVPM 启动步骤 4操作确认方法
97
4385 数观测例

图示通 SERVO GUIDE 观测数实例（刚性攻丝时步误差电机
速度）


DRAW1：SYNC（步误差）※1
DRAW2：SPEED（电机速度）

※1 步误差伺服轴输出数
DRAW2：SPEED
DRAW1：SYNC 4操作确认方法 βi SVPM 启动步骤 B65325CM01

98
44 SVPM 伺服部分

441 STATUS2 显示确认


STATUS ２


STATUS2 显示 容

STATUS2 显示 LED 点亮时
①电源没接通
②电缆连接良 → 请确认电缆
③SVPM 障 → 请更换保险丝(FU1)者伺服放器

NC 发出 READY 信号等

伺服部分 READY 状态
伺服电机激活

报警状态
伺服部分发生报警时STATUS2 显示 LED 显示0者外容请参阅Ⅳ
编 32 章 B65325CM01 βi SVPM 启动步骤 4操作确认方法
99
442 NC 显示 VRDYOFF 报警时

NC 显示 VRDYOFF 报警时请确认项目外关 VRDYOFF 产
生原局限述果检查项目没发现问题确认
诊断画面 No358 VRDYOFF 信息请公司服务部门联系

(1) 急停信号(ESP)
输入 SVPM 中急停信号（连接器CX4）否已解连接否正确？

(2) MCON 信号
NC SVPM 准备指令信号 MCON 否已通轴脱离功设定
送出？

(3) SVPM 控制基板
检查 SVPM 控制基板安装良活着障请切实卡紧面板
果情况改善请更换控制基板

通检查诊断信息(DGN) No358 分析出 VRDYOFF 发生原
（伺服软件 90B0 系列D(04)版更新版）
NC 应功

诊断 358 VRDYOFF 信息
显示值转换成 2 进制检查位 5~位 14
开启伺服放器励磁时低位位 5 开始次 1正常启动场合
位 5~位 14 全部成 1
低位位开始序确认初 0 位果完成变化说明
发生 VRDYOFF 报警原

#15 #14 #13 #12 #11 #10 #9 #8
SRDY DRDY INTL RLY CRDY MCOFF MCONA
#7 #6 #5 #4 #3 #2 #1 #0
MCONS *ESP HRDY
#06(*ESP) 急停信号
#07#08#09 ＭＣＯＮ信号(NC→放器→转换器)
#10(CRDY) 转换器准备绪信号
#11(RLY) 继电器信号（ＤＢ继电器驱动）
#12(INTL) 联锁信号（ＤＢ继电器解状态）
#13(DRDY) 放器准备绪信号 4操作确认方法 βi SVPM 启动步骤 B65325CM01

100
443 观测电机电流值方法

关伺服电机中电流值观测方法说明

(1) SERVO GUIDE（伺服导）方法
关伺服调整工具——SERVO GUIDE 连接方法等请参阅联机帮
助

伺服软件 90B0L(12)更新版9096C(03)更新版
NC 应功

设定
通图表窗口通道设定选择测量象轴种类(Kind)中选择 IRIS换
算系数(Coef)中设定放器电流值（Ａｐ）




注释
1 伺服软件系列 90B0 中电机电流采样周期赖电流控制周期
2 伺服软件系列 9096 中电机电流采样周期设 1msec

显示
图表窗口方式(M)菜单选择 XTYT 方式显示波形
B65325CM01 βi SVPM 启动步骤 4操作确认方法
101
(2) 伺服检查板方法
关伺服检查板连接方法请参阅 FANUC AC SERVO MOTOR
αisαiβis series 参数说明书 B65270CM 418 节

必装置
• 伺服检查板
Ａ０６Ｂ－６０５７－Ｈ６３０
• 示波器

设定

CNC 设定
伺服软件 90B0 系列时参数设定
输出通道 数号５ 数号６
FS16i 18i 21i 0iPMi No2115 No2151 No2152 No2153
测量轴 电流相 IR IS
L 轴(注释 1) 370 0 402 0
M 轴(注释 1) 2418 0 2450 0

伺服软件 9096 系列时参数设定
输出通道
测量轴
数号５
成轴(注释 2)
数号５
FS16i 18i 21i 0iPMi No2115 No2115
测量轴 电流相 IR IS
L 轴(注释 1) 370 402
M 轴(注释 1) 1010 1042
9096 系列测量轴成轴（注释 2）存时时观测 IR
IS

注释
1 L 轴指 No1023 中设定奇数轴M 轴指 No1023 中设定
偶数轴
2 No1023 值中2n1 轴 2n 轴成

电机电流数输出周期设定（仅限 90B0 系列）

输出周期 No1746 No2206#7
速度环路周期 0 (默认值)
电流环路周期 1 (注释 3)
4操作确认方法 βi SVPM 启动步骤 B65325CM01

102
注释
3 输出周期设定电流环路周期时设定数号０１２
４ CH（通道）会输出信号（速度指令等）时观测电
机电流信号（速度指令等）时请输出周期设 1msec
4 伺服软件系列 9096 中电机电流输出周期 1msec 时
法进行电流环路周期中输出

检查板设定
·请 LED AXIS 位中设定 No1023 轴号１～８
·请 LED DATA 位中设定数号５者６

电机电流值观测方法
伺服检查板数号设５者６ CH（通道）中输出电机电流相
电压
通示波器等工具测量电压观测电机电流波形
观测电压电机电流关系表示
放器电流 电机电流／观测电压 [AV]
20Ap 5
40Ap 10

放器电流
SVPM Ｌ轴 Ｍ轴 Ｎ轴
SVPM255i 20Ａp 20Ａp
SVPM211i 20Ａp 20Ａp
SVPM215i 40Ap 40Ap
SVPM355i 20Ａp 20Ａp 40Ａp
SVPM311i 20Ａp 20Ａp 40Ａp
SVPM315i 40Ap 40Ap 40Ap

例 20Ap 轴情形观测电压 1V 时电机电流 5A（实效值
实际电流值） B65325CM01 βi SVPM 启动步骤 5SVPM 定期维护
103
5 SVPM 定期维护
5SVPM 定期维护 βi SVPM 启动步骤 B65325CM01

104
51 绝脉编码器电池

绝脉编码器电池列两种连接方式：［连接方式 1］［连接方式 2］

[连接方式 1]单台电池台 SVM 供应电池电源方法

SVPM
电池盒
A06B6050K060
电池
A06B6050K061
连接器
A06B6130K201
CX5X

APC（绝脉编码器）报警电池劣化者电池电压已 0 时
请更换电池
外电池电压 0 时需进行参考点返回作业
βiS 系列伺服电机（β045000iS~β222000iS ）标准型号绝脉编码
器部置备电容器通备电容器进行 10 分钟左右绝
位置检测操作时间切断伺服放器电源更换电池
需进行参考点返回操作
方面β系列伺服电机脉编码器部没置备电容器
需注意详情请参项[更换电池时注意事项 NO1]
连接伺服电机 6 轴情况βiS 系列伺服电机（β045000iS ~β
222000iS）中电池寿命约 2 年β系列伺服电机中电池寿命
约 1 年建议户根电池寿命定期更换电池
电池采 1 号缄性干电池（4 节）市场出售电池
A06B6050K061 FANUC 公司作选购件提供电池

警告
1 请类型电池连接相 BATL(B3)线电池输
出电压间形成短路致电池温度升高极危险
2 连接电池时请注意电池正负极性弄错极性连接时会导致电池
发热破裂起火
B65325CM01 βi SVPM 启动步骤 5SVPM 定期维护
105
[连接方式 2] 置电池装入 SVPM 方法

SVPM
电池
A06B6073K001
电池盒
A06B6114K501
CX5X


APC（绝脉编码器）报警电池降者电池电压成 0 时请更
换电池（A06B6073K001）
外电池电压 0 时需进行参考点返回操作
βiS 系列伺服电机（β045000iS ~β222000iS）标准型号绝脉编码
器部置备电容器通备电容器进行 10 分钟左右绝
位置检测操作时间切断伺服放器电源更换电池
需进行参考点返回操作
方面β系列伺服电机脉编码器部没置备电容器
需注意详情请参阅项[更换电池时注意事项 NO1]
伺服电机 3 轴连接情况电池βiS 系列伺服电机（β045000iS ~β
222000iS）中寿命约 2 年建议户根电池寿命定
期更换电池
市场没置电池出售请务必公司购买建议户事先
准备备置电池

警告
1 置电池(A06B6073K001)时千万连接连接器 CXA2C
BATL(B3)
电池输出电压间形成短路致电池温度升高
极危险
2 请类型电池连接相 BATL(B3)线电池输
出电压间形成短路致电池温度升高极危险
3 连接电池时请注意电池正负极性弄错极性连接时会导致电池
发热破裂起火
5SVPM 定期维护 βi SVPM 启动步骤 B65325CM01

106
安装电池方法
1 拆附 SVPM 电池盖子
2 图示电池安装 SVPM
3 安装电池盒
4 电池连接器安装 SVPM CX5X

电池
SVPM
电池盒
插入方
红：+6V
黑： 0V
CX5X
+6V
0V
连接器
电缆端

注意
1 电池安装 SVPM 时果电缆引出口安装电池电缆
处绷紧状态请电缆处松弛状态安装电池电缆处
绷紧状态安装电池导致接触良
2 注意连接器操作详情请参阅项［更换电池时注意事项
NO2］
B65325CM01 βi SVPM 启动步骤 5SVPM 定期维护
107
更换电池时注意事项 NO1
β系列伺服电机没脉编码器部标准安装备份电容器避免绝
脉编码器中绝位置数丢失需接通控制电源状态更换电池
更换步骤示

[更换作业步骤]
1 确认已接通 SVPM 电源（SVPM 正面 7 段已点亮）
2 确认已系统急停钮
3 确认电机没处激磁状态
4 确认 SVPM DC 链路充电 LED 指示灯已熄灭
5 取旧电池装新电池
6 电池更换结束样切断系统电源妨

警告
1 请注意更换电池切勿触摸板裸露金属部分特需注意
触摸高压部分触电危险
2 请确认伺服放器正面DC链路充电确认LED 指示灯已熄灭
更换电池需注意 LED 指示灯没熄灭情况触电
危险
3 连接电池时请注意电池正负极性弄错极性连接时会导致电池
发热破裂起火
4 注意电池电缆+6V0V形成短路电池形成短路时
会导致电池发热破裂起火
5SVPM 定期维护 βi SVPM 启动步骤 B65325CM01

108
更换电池时注意事项 NO2

插入拔出连接器时施加应力导致接触良请
列方法插入拔出连接器时避免连接器施加扭力

(1) 连接器安装

①


确认安装位置
②


等 10 度

插入时电缆部分略微抬
高
③


等 5 度

时水方等 5
度
④



穿锁定销钉笔直插
入
⑤



安装结束
B65325CM01 βi SVPM 启动步骤 5SVPM 定期维护
109
(2) 连接器拆卸

①



握住电缆绝缘体电缆水
拔出
②


等 10 度

电缆应稍微抬起
③


等 5 度

时水方等 5
度
5SVPM 定期维护 βi SVPM 启动步骤 B65325CM01

110
52 关 SVPM 定期检查

够实现 SVPM 长期确保设备高性高稳定性必须实施日常
性维护检查

检查周期 检查位置 检查项目
日常 定期
判定基准 备注
环境 环境温度 ○
强电盘四周 0～45℃
强电盘 0~55℃
环境 湿度 ○ 等 90RH（应结露）
环境
尘埃
油污
○ 伺服放器附应粘附类物质
环境 冷风通道 ○
风流动否畅通
冷风扇电机运行否正常
环境 异常振动响声 ○
(1) 应前没异常响声者振动
(2) 放器附振动应等 05G
环境 电源电压 ○ βiSVPM：200 ~240V
放器 总体 ○ 否出现异常声音异常气味
放器 总体 ○
否粘附尘埃油污
否出现异常响声异常味道
放器 螺丝 ○ 螺丝否松动
放器 风扇电机 ○
(1) 运转否正常
(2) 应异常振动异响
(3) 应粘附尘埃油污
(*1)
放器 连接器 ○ 否松动
放器 电缆 ○
(1) 否发热迹象
(2) 包覆否出现老化（变色者裂纹）
外围设备 电磁接触器 ○ 应出现异响颤动
外围设备 漏电断路器 ○ 漏电跳闸装置应正常工作
外围设备 ＡＣ电抗器 ○ 应嗡嗡声响

(*1) 风扇电机定期维护零部件
伺服放器风扇电机停止时然会立损坏放器需进行日
常性检查定期更换类部件

风扇单元图号
SVPM
外部放热散热片冷 PSM 名称
风扇单元 风扇电机
SVPM55i
SVPM11i A06B6134K001 A90L00010335D
SVPM15i A06B6134K001 A90L00010335D










IV βi SVPM 障排处理办法B65325CM01 βi SVPM 障排处理办法 1概
113
1 概

篇描述发生障时处理步骤请根情况参阅项容查清障原
排障

首先参阅第 2 章确认报警号（CNC 显示）STATUS１显示STATUS
２显示查清障原

根第 3 章容排障 2报警显示容 βi SVPM 障排处理办法 B65325CM01

114
2 报警显示容

B65325CM01 βi SVPM 障排处理办法 2报警显示容
115
21 伺服报警

伺服报警 轴报警 轴报警 STATUS1
轴部
STATUS2
伺服部
报警容 参阅
３６１ 脉编码器相位异常（置） 337 (1)
３６４ 软相报警（置） 337 (1)
３６５ ＬＥＤ异常（置） 337 (1)
３６６ 脉错误（置） 337 (1)
３６７ 计数错误（置） 337 (1)
３６８ 串行数错误（置） 337 (3)
３６９ 数传输错误（置） 337 (3)
３８０ ＬＥＤ异常（分离式） 337 (2)
３８１ 脉编码器相位异常（分离式） 337 (2)
３８２ 计数错误（分离式） 337 (2)
３８３ 脉错误（分离式） 337 (2)
３８４ 软相报警（分离式） 337 (2)
３８５ 串行数错误（分离式） 337 (3)
３８６ 数传输错误（分离式） 337 (3)
３８７ 检测器异常（分离式） 337 (2)
４１７ 参数错误 336
４２１ 半—全误差 338
４３０ 伺服电机热 335
４３１ ９０５８ ７ｎ５８ 58 转换器电路载 313
４３２ ９１１１ ７ｎ９８ b1 转换器控制电源低电压 316
４３３ ９０５１ ７ｎ５１ 51 转换器ＤＣ链路部低电压 314
４３４ ２ 变频器 控制电源低电压 32
４３５ ５ 变频器 ＤＣ链路部低电压 32
４３６ 软发热（ＯＶＣ） 333
４３７ ９０３０ ７ｎ３０ 30 转换器输入电路电流 311
４３８ ｂ Ｌ轴 变频器 电机电流异常 32
４３８ Ｃ Ｍ轴 变频器 电机电流异常 32
４３８ ｄ Ｎ轴 变频器 电机电流异常 32
４３９ ９０１１ ７ｎ１１ 11 转换器ＤＣ链路电压 317
４４１ 电流偏移异常 338
４４２ ９０３３ ７ｎ３３ 33 转换器ＤＣ链路充电异常 315
４４５ 软件断线报警 334
４４７ 硬件断线报警（分离式） 334
４４８ 反馈致报警 338
４４９ ８． Ｌ轴 变频器 ＩＰＭ报警 32 2报警显示容 βi SVPM 障排处理办法 B65325CM01

116
伺服报警 轴报警 轴报警 STATUS1
轴部
STATUS2
伺服部
报警容 参阅
４４９ ９． Ｍ轴 变频器 ＩＰＭ报警 32
４４９ Ａ． Ｎ轴 变频器 ＩＰＭ报警 32
４５３ α脉编码 软件断线 334
６０１ Ｆ 变频器 散热器冷风扇停止 32
６０２ ６ 变频器 热 32
６０３ ８． Ｌ轴 变频器 ＩＰＭ报警（ＯＨ） 32
６０３ ９． Ｍ轴 变频器 ＩＰＭ报警（ＯＨ） 32
６０３ Ａ． Ｎ轴 变频器 ＩＰＭ报警（ＯＨ） 32
６０４ Ｐ 放器模件间通信异常 32
６０７ ９００４ ７ｎ０４ 04 转换器电源缺相 318 B65325CM01 βi SVPM 障排处理办法 2报警显示容
117
22 轴报警

伺服报警 轴报警 轴报警 STATUS1
轴部
STATUS2
伺服部
报警容 参阅
９００１ ７ｎ０１ 01 电机热 341
９００２ ７ｎ０２ 02 速度偏差 342
６０７ ９００４ ７ｎ０４ 04 转换器电源缺相 318
９００６ ７ｎ０６ 06 温度传感器断线 343
９００７ ７ｎ０７ 07 超速 344
９００９ ７ｎ０９ 09 电路载／ＩＰＭ热 345
４３９ ９０１１ ７ｎ１１ 11 转换器ＤＣ链路部电压 317
９０１２ ７ｎ１２ 12 ＩＰＭ报警 346
７５０ ７５０ 18 程序数校验异常 348
７５０ ７５０ 19 Ｕ相电流检测电路偏移 349
７５０ ７５０ 20 Ｖ相电流检测电路偏移 349
９０２１ ７ｎ２１ 21 位置传感器极性设定误 3410
７４９ ７４９ 24 串行传送数异常 3411
９０２７ ７ｎ２７ 27 位置编码器断线 3412
９０２９ ７ｎ２９ 29 短暂载 3413
４３７ ９０３０ ７ｎ３０ 30 转换器输入电路电流 311
９０３１ ７ｎ３１ 31 电机受束缚报警 3414
９０３２ ７ｎ３２ 32 串行通信 LSI RAM 异常 3415
４４２ ９０３３ ７ｎ３３ 33 转换器ＤＣ链路充电异常 315
９０３４ ７ｎ３４ 34 参数数越出容许范围 3416
９０３５ ７ｎ３５ 35 齿轮参数设定误 3438
９０３６ ７ｎ３６ 36 错误计数器溢出 3417
９０３７ ７ｎ３７ 37 速度检测器参数设定误 3418
９０４１ ７ｎ４１ 41 位置编码器次旋转信号检测错误 3419
９０４２ ７ｎ４２ 42 尚未检测出位置编码器次旋转信号 3420
９０４６ ７ｎ４６ 46 螺纹切削位置传感器次旋转信号检
测错误
3421
９０４７ ７ｎ４７ 47 编码器信号异常 3422
９０５０ ７ｎ５０ 50 轴步控制速度计算值 3423
４３３ ９０５１ ７ｎ５１ 51 转换器ＤＣ链路部低电压 314
９０５２ ７ｎ５２ 52 ＩＴＰ信号异常Ⅰ 3424
９０５３ ７ｎ５３ 53 ＩＴＰ信号异常Ⅱ 3424
９０５４ ７ｎ５４ 54 载电流报警 3425
４３１ ９０５８ ７ｎ５８ 58 转换器电路载 313
９０７３ ７ｎ７３ 73 电机传感器断线 3426
９０７５ ７ｎ７５ 75 ＣＲＣ测试报警 3427 2报警显示容 βi SVPM 障排处理办法 B65325CM01

118
伺服报警 轴报警 轴报警 STATUS1
轴部
STATUS2
伺服部
报警容 参阅
９０７９ ７ｎ７９ 79 初始测试操作异常 3428
９０８１ ７ｎ８１ 81 电机传感器次旋转信号检测错误 3429
９０８２ ７ｎ８２ 82 尚未检测出电机传感器次旋转信号 3430
９０８３ ７ｎ８３ 83 电机传感器信号异常 3431
９０８４ ７ｎ８４ 84 轴传感器断线 3432
９０８５ ７ｎ８５ 85 轴传感器次旋转信号检测错误 3433
９０８６ ７ｎ８６ 86 尚未检测出轴传感器次旋转信号 3434
９０８７ ７ｎ８７ 87 轴传感器信号异常 3435
７ｎ９７ 轴放器报警
７ｎ９８ 转换器报警
７４９ ７４９ A 程序 ROM 异常 3436
７４９ ７４９ A1 程序 ROM 异常 3436
７４９ ７４９ A2 程序 ROM 异常 3436
９１１０ ７ｎ９８ b0 放器模件间通信异常 发生
４３２ ９１１１ ７ｎ９８ b1 转换器控制电源低电压 316
９１２０ C0 通信数报警 3437
９１２１ C1 通信数报警 3437
９１２２ C2 通信数报警 3437
(*) 报警号中ｎ轴号B65325CM01 βi SVPM 障排处理办法 3障排处理办法
119
3 障排处理办法
3障排处理办法 βi SVPM 障排处理办法 B65325CM01

120
31 伺服轴通部分

311 STATUS2 报警代码 －
STATUS1 报警代码 ３０

SVPM
(1) 容
电路电源模件(IPM)检测出异常

(2) 原排方法
(a) 电源模件(IPM)控制电源降低
→请更换单元
(b) 输入电源电压衡
→请确认输入电源规格
(c) AC 电抗器单元规格
→请确认 SVPM AC 电抗器单元规格
(d) IPM 障
→请更换 IPM

312 STATUS2 报警代码 －
STATUS1 报警代码 ５９

(1) 容
控制电路部冷风扇停止工作
(2) 原排方法
SVPM 会发生报警
发生报警时 SVPM 者 SVPM 控制印机良
请更换 SVPM 者 SVPM 控制印机

313 STATUS2 报警代码 －
STATUS1 报警代码 ５８

(1) 容
电路散热器温度异常升
(2) 原排方法
(a) 冷风扇障
请确认冷风扇旋转状况
→请更换冷风扇
(b) 灰尘污垢
→请车间吹风吸尘器清洁冷系统
(c) 载运行
→请重新探讨运转条件
B65325CM01 βi SVPM 障排处理办法 3障排处理办法
121
314 STATUS2 报警代码 －
STATUS1 报警代码 ５１

(1) 容
电路直流部分(DC 链路)电压降低
(2) 原排方法
(a) 发生瞬停
→请确认电源
(b) 输入电源低电压
→请确认电源规格
(c) 急停解时切断电路电源
→请确认序

315 STATUS2 报警代码 －
STATUS1 报警代码 ３３

(1) 容
电路充电规定时间完成
(2) 原排方法
(a) SVMSVPM 连接台数较
→请确认 SVPM 规格
(b) DC 链路短路
→请确认连接
(c) 充电电流限制电阻障
→请更换连线板

316 STATUS2 报警代码 －
STATUS1 报警代码 ｂ１

(1) 容
控制电源电压降低
(2) 原排方法
(a) 输入电压降低
→请确认电源
3障排处理办法 βi SVPM 障排处理办法 B65325CM01

122
317 STATUS2 报警代码 －
STATUS1 报警代码 １１

(1) 容
电路直流部分(DC 链路)电压异常升
(2) 原排方法
(a) 生功率
SVPM 量足
→请确认 SVPM 规格
(b) 电源阻抗较高
→请确认电源阻抗
(输出时电压变动等 7属正常)
(c) 急停解状态切断电路电源
→请确认序

318 STATUS2 报警代码 －
STATUS1 报警代码 ０４

(1) 容
输入电源异常(缺相)
(2) 原排方法
(a) 输入电源缺相
请确认电源电压
→果电源电压没问题请确认连接


B65325CM01 βi SVPM 障排处理办法 3障排处理办法
123
32 伺服部分

关伺服放器模件报警表述
较第 2 项 报警显示容中提 CNC 报警代码 STATUS2
LED 显示参阅表

报警 STATUS2
显示
原 参阅
变频器 部冷风扇停止 １
·SVPM 会发生报警
·发生报警 SVPM 障
变频器 控制电源低电压 ２
·输入 SVPM ２４Ｖ控制电源降低
·连接器电缆(CXA2AB)障
·SVPM 障
321
变频器 DC 链路部低电压 ５
·输入电压降低
·SVPM 障 322
变频器 热 ６
·电机条件恶劣
·环境温度较高
·SVPM 障
323
变频器 散热器冷风扇停止 Ｆ
·SVPM 会发生报警
·发生报警 SVPM 障
放器模件通信异常 Ｐ ·SVPM 障 324
L 轴 变频器 IPM 报警 ８．
Ｍ轴 变频器 IPM 报警 ９．
Ｎ轴 变频器 IPM 报警 Ａ．
·动力线相间短路接障
·电机绕组相间短路接障
·SVPM 障
325
Ｌ轴 变频器 IPM 报警（ＯＨ） ８．
Ｍ轴 变频器 IPM 报警（ＯＨ） ９．
Ｎ轴 变频器 IPM 报警（ＯＨ） Ａ．
·电机条件恶劣
·环境温度较高
·SVPM 障
326
Ｌ轴 变频器 电机电流异常 ｂ
Ｍ轴 变频器 电机电流异常 Ｃ
Ｎ轴 变频器 电机电流异常 ｄ
·动力线相间短路接障
·电机绕组相间短路接障
·电机 ID NOＩＤ设定误
·SVPM 障
·电机障
327

变频器 FSSB 通信异常（COP10B） U
·连接器电缆(COP10B) 障
·SVPM 障
·CNC 障
328

3障排处理办法 βi SVPM 障排处理办法 B65325CM01

124
321 STATUS2 报警代码 2

(1) 容
变频器 控制电源低电压
(2) 原排方法
(a) 确认放器３相输入电压(应等额定输入电压 085 倍)
(b) 确认 SVPM 输出 24V 电源电压（正常时：等 228V）
(c) 确认连接器电缆(CXA2AB)
(d) 更换 SVPM

322 STATUS2 报警代码 5

(1) 容
变频器 DC 链路部低电压
(2) 原排方法
(a) ３相输入电压降低
(b) 更换控制印制电路板
(c) 更换 SVPM

323 STATUS2 报警代码 6

(1) 容
变频器 热
(2) 原排方法
(a) 确认电机否等连续额定值
(b) 确认机架冷力否降低(风扇滤器检查)
(c) 确认环境温度否高
(d) 请切实面板(控制基板)
(e) 更换 SVPM

324 STATUS2 报警代码 P

(1) 容
放器模件间通信异常
(2) 原排方法
(a) 确认连接器电缆(CXA2AB)
(b) 更换控制印制电路板
(c) 更换 SVPM B65325CM01 βi SVPM 障排处理办法 3障排处理办法
125
325 STATUS2 报警代码 8 9 A

(1) 容
变频器 IPM 报警
(2) 原排方法
(a) 切实面板(控制基板)
(b) SVM 拆电机动力线解急停
① 没发生 IPM 报警时
→(c)
② 发生 IPM 报警时
→更换 SVM
(c) SVM 拆电机动力线确认电机动力线 UVW 中
PE 绝缘
① 绝缘层老化时
→(d)
② 绝缘层正常时
→更换 SVM
(d) 电机动力线分离确认电机动力线绝缘层否老化
① 电机绝缘层老化时
→更换电机
② 动力线绝缘层老化时
→更换动力线

326 STATUS2 报警代码 8 9 A

(1) 容
变频器 IPM 报警 (OH)
(2) 原排方法
(a) 切实面板(控制基板)
(b) 确认散热器冷风扇否停止
(c) 确认电机否等连续额定值
(d) 确认机架冷力否降低(风扇滤器检查等)
(e) 确认环境温度否高
(f) 更换 SVPM
3障排处理办法 βi SVPM 障排处理办法 B65325CM01

126
327 STATUS2 报警代码 b c d

(1) 容
变频器 电机电流异常
(2) 原排方法
(a) 伺服参数确认
根 FANUC AC SERVO MOTOR αisαiβis series 参数说明书
（B65270CM）确认参数否标准设定值
Series 15i No1809 No1852 No1853
Series 16i 18i 20i 21i 0i
Power Mate i No2004 No2040 No2041
外仅快速加减速时发生电机电流异常报警情形
电机条件苛刻造成请增加减速常数进行观察
(b) 切实面板(控制基板)
(c) SVM 拆电机动力线解急停
① 电机电流异常时
→(d)
② 电机电流异常时
→更换 SVPM
(d) 电机动力线 SVM 拆确认电机动力线 UVW 中
中根 PE 绝缘
① 绝缘层老化时
→(e)
② 绝缘层正常时
→更换 SVM
(e) 电机动力线分离确认电机动力线绝缘层否老化
① 电机绝缘层老化时
→更换电机
② 动力线绝缘层老化时
→更换动力线
B65325CM01 βi SVPM 障排处理办法 3障排处理办法
127
328 STATUS2 报警代码 U

(1) 容
变频器 FSSB 通信异常（COP10B）(注释)
(2) 原排方法
(a) 更换显示 U 离βi SVPM βi SVM 光电缆（COP10B）
图 328 情形βi SVM No3 β i SVPM 间电缆
(b) 更换显示 U 离βi SVPM βi SVM
图 328 情形βi SVM No3
(c) 更换显示 U 离βi SVPM βi SVM COP10B 端βi SVM
图 328 情形βi SVM No2
(d) 更换 CNC 伺服卡


COP10B
COP10A
COP10B
COP10A
COP10B
COP10A
CNC
伺服卡 U
COP10B
βi SVM No1 β i SVM No2 β i SVM No3
β i SVPM
（a）(c) (b) (d)

图 328

注释
CNC 电源 ON 时显示[U]然恢复[]异常
3障排处理办法 βi SVPM 障排处理办法 B65325CM01

128
33 伺服软件

伺服报警发生时报警提示信息外伺服调整画面者诊断画面显示报警
细节请项中报警判表确定报警容进行适处理

331 伺服调整画面
列步骤显示伺服调整画面

z Series 0i
→〔SYSTEM〕→〔 〕→〔SVPRM〕→〔SVTUN〕

伺服画面列设定步骤 NC 电源进行 OFFON 操作
#7 #6 #5 #4 #3 #2 #1 #0
3111 SVS
SVS(#0) 1 显示伺服画面











图 331(a) 伺服调整画面

报警详细信息
①
②
③
④
⑤

SYSTEMB65325CM01 βi SVPM 障排处理办法 3障排处理办法
129
332 诊断画面

伺服调整画面报警项目表示诊断号

表 332(a) 伺服调整画面诊断画面（诊断）应关系
报警编号 Series15i Series16i18i21i0i
①报警 1
②报警 2
③报警 3
④报警 4
⑤报警 5
⑥报警 6
⑦报警 7
⑧报警 8
⑨报警 9
No 3014+20(X1)
3015+20(X1)
3016+20(X1)
3017+20(X1)
――――――
――――――
――――――
――――――
――――――
No 200
201
202
203
204
――
205
206
――







图 332 诊断画面

报警位名称表述
表 332(b) 报警位名称列表
#7 #6 #5 #4 #3 #2 #1 #0
①报警 1 OVL LVA OVC HCA HVA DCA FBA OFA
②报警 2 ALD EXP
③报警 3 CSA BLA PHA RCA BZA CKA SPH
④报警 4 DTE CRC STB PRM
⑤报警 5 OFS MCC LDM PMS FAN DAL ABF
⑥报警 6 SFA
⑦报警 7 OHA LDA BLA PHA CMA BZA PMA SPH
⑧报警 8 DTE CRC STB SPD
⑨报警 9 FSD SVE IDW NCE IFE

注释
空栏报警代码

①
②
③
④
⑤
⑦
⑧3障排处理办法 βi SVPM 障排处理办法 B65325CM01

130
333 载报警（软发热OVC）

（报警判法）
#7 #6 #5 #4 #3 #2 #1 #0
①报警 1 OVL LVA OVC HCA HVA DCA FBA OFA
（处理办法）
(1) 确认电机否振动
⇒电机果振动电机产生电流会发生报警
(2) 确认电机动力线连接否正确
⇒果弄错电机动力线连接电机会产生异常电流发生报警
(3) 确认列伺服参数否正确
⇒载报警需参数进行计算请务必设定标准设定值标准设定值
请参阅参数说明书(B65270CM)
(4) 请确认运行条件机床负载电机规格相会

载保护系数(OVC1)
No 2062 (FS0i)

载保护系数(OVC2)
No 2063 (FS0i)

载保护系数(OVCLMT)
No 2065 (FS0i)


载保护系数(OVC21)
No 2162 (FS0i)

载保护系数(OVC22)
No 2163 (FS0i)

载保护系数(OVCLMT2)
No 2164 (FS0i)
B65325CM01 βi SVPM 障排处理办法 3障排处理办法
131
334 反馈断线报警

（报警判法）
#7 #6 #5 #4 #3 #2 #1 #0
①报警 1 OVL LVA OVC HCA HVA DCA FBA OFA
②报警 2 ALD EXP
⑥报警 6 SFA

FBA ALD EXP SFA 报警容 处理办法
1 1 1 0 硬件断线（分离式Ａ／Ｂ相） 1
1 0 0 0 软件断线（流量） 2
1 0 0 1 软件断线（αi 脉编码） 3
（处理办法）
处理办法 1：发生分离式 AB 相标尺情形请确认 AB 相检测器连接
否正确
处理办法 2：发生相速度反馈脉变化位置反馈脉变化量较情
形半闭环结构中会发生请确认分离式检测器否正
确输出位置反馈脉正确判断电机位置标尺位置间
间隙太发生机床开始运转时电机反转情况

#7 #6 #5 #4 #3 #2 #1 #0
TGAL
No 2003 (FS0i)
TGAL(#1) 1 软件断线报警检测水参数

软件断线报警水
No 2064 (FS0i)
标准设定值 4 电机转动 18 圈报警
请该值设定较值

处理办法 3：发生置脉编码器绝位置数位相数步时
请 NC 电源 OFF 状态拔脉编码器电缆插
次发生请更换脉编码器

3障排处理办法 βi SVPM 障排处理办法 B65325CM01

132
335 热报警

（报警判法）
#7 #6 #5 #4 #3 #2 #1 #0
①报警 1 OVL LVA OVC HCA HVA DCA FBA OFA
②报警 2 ALD EXP

OVL ALD EXP 报警容 处理办法
1 1 0 电机热 1
1 0 0 放器热 1
（处理办法）
处理办法 1：发生长时间连续运转情形时实际判断电机放
器温度升请停机段时间观察状态关闭电源 10 分钟
左右次发生报警恒温器障
间歇发生报警时请增时间常数增加程序中停止时间抑
制温度升

336 伺服参数设定非法报警

伺服参数设定非法报警发生设定值超容许范围部值计算中发生溢出
时等场合
伺服端检测出参数非法时候报警４＃４(PRM)＝１
（报警判法）
#7 #6 #5 #4 #3 #2 #1 #0
④报警 4 DTE CRC STB PRM
伺服端参数非法报警发生时详细状况处理办法请参阅参数说明书
(B65270CM)

（参考）
伺服端确认检测出参数非法细节方法

（Series0i 情形）
诊断画面 No352 显示出编号

B65325CM01 βi SVPM 障排处理办法 3障排处理办法
133
337 脉编码分离式串行检测器相关报警

（报警判位）
#7 #6 #5 #4 #3 #2 #1 #0
①报警 1 OVL LVA OVC HCA HVA DCA FBA OFA
②报警 2 ALD EXP
③报警 3 CSA BLA PHA RCA BZA CKA SPH
④报警 4 DTE CRC STB PRM
⑤报警 5 OFS MCC LDM PMS FAN DAL ABF
⑥报警 6 SFA
⑦报警 7 OHA LDA BLA PHA CMA BZA PMA SPH
⑧报警 8 DTE CRC STB SPD
⑨报警 9 FSD SVE IDW NCE IFE

(1) 置脉编码器情形
根报警 1235 进行判断报警位含义示

报警 3 报警 5 1 报警 2
CSA BLA PHA RCA BZA CKA SPH LDM PMA FBA ALD EXP
报警容 处理
1 软相报警 2
1 电池电压零报警 1
1 1 1 0 计数错误报警 2
1 相报警 2
1 电池电压降报警（注意） 1
1 脉错误报警
1 LED 异常报警

注意
没处理办法编号者认脉编码器障请更换脉编码
器

(2) 分离式串行检测器情形
根报警７进行判断报警位含义示

报警 7
OHA LDA BLA PHA CMA BZA PMA SPH
报警容 处理
1 软相报警 2
1 脉错误报警
1 电池电压零报警 1
1 计数错误报警 2
1 相报警 2
1 电池电压降报警（注意） 1
1 LED 异常报警
1 分离式检测器报警 3
3障排处理办法 βi SVPM 障排处理办法 B65325CM01

134
注释
没处理办法编号者认脉编码器障请更换脉编码
器

(处理办法)
处理办法 1：电池相关报警
请确认电池否正常连接电池连接首次接通电源时发生电池零
报警时请进行电源 OFFON 操作次发生报警时请确认电
池电压发生电池电压降低报警时请确认电压更换电池

处理办法 2：噪声发生报警
间歇发生时急停解发生时报警原噪声请采取
充分噪声策采取噪声策继续发生报警时请更换检测器

处理办法 3：分离式检测器检测出报警
分离式检测器检测出报警请检测器制造厂家咨询

(3) 串行通信相关报警
根报警 4报警 8 进行判断

报警 4 报警 8
DTE CRC STB DTE CRC STB
报警容
1
1
1
串行脉编码器通信报警
1
1
1
分离式串行脉编码器通信报警

处理办法：串行通信正常进行请请确认电缆连接正确没断线发
生 CRCSTB 时噪声原请采取噪声策
果接通电源定会发生脉编码器放器控制
基板脉模件障

B65325CM01 βi SVPM 障排处理办法 3障排处理办法
135
338 报警

（报警判法）
#7 #6 #5 #4 #3 #2 #1 #0
⑤报警 5 OFS MCC LDM PMS FAN DAL ABF

OFS DAL ABF 报警容 处理
1 反馈致报警 1
1 半—全误差报警 2
1 电流偏移异常报警 3

（处理办法）
处理办法 1：发生位置检测器速度检测器移动方相反时请确认分离式检
测器旋转方电机旋转方相反时请进行处理
AB 相检测器情形： A A 接线弄反
串行检测器情形：分离式检测器信号方弄反
90B0 系列 G(07)版更新版AB 相检测器时根设定
信号方反转

#7 #6 #5 #4 #3 #2 #1 #0
No 2018 (FS0i) RVRSE

RVRSE(#0) 否分离式检测器信号方反转
0 会分离式检测器信号方反转
1 分离式检测器信号方反转

电机分离式检测器间存较扭力时会急剧加／减速时发生
种情况请变更检测水

#7 #6 #5 #4 #3 #2 #1 #0
No 2201 (FS0i) RNLV

RNLV(#1) 反馈致报警检测水变更
1 等 1000min1 检测
0 等 600 min1 检测
3障排处理办法 βi SVPM 障排处理办法 B65325CM01

136
处理办法 2：发生电机位置分离式检测器位置差半—全误差水
情形请确认双重位置反馈变换系数设定否正确果设定正
确请增报警水水变更旧发生报警时请确认标尺
连接方

双重位置反馈变换系数（分子）
No 2078 (FS0i)

双重位置反馈变换系数（分母）
No 2079 (FS0i)






双重位置反馈 半—全误差水
No 2118 (FS0i)
［设定值］ 检测単位 设定值 0 时予检测

处理办法 3：电流检测器电流偏移量（相急停中电流值）异常变
执行电源 ONOFF 然次发生报警时判断电流检
测器异常请更换 SVPM


电机转动 1 圈反馈
脉数（检测单位）
变换系数＝
100 万 B65325CM01 βi SVPM 障排处理办法 3障排处理办法
137
34 轴部

报警发生时STATUS１显示中报警 LED(红)点亮2 位数 7 段 LED 显示报
警代码

报警 LED(红)点亮
显示警报代码(0102～) status1


341 报警代码 01

机部等标准温度

(1) 切削中显示报警情形（电机温度高）
(a) 请确认电机冷状态
① 轴电机冷风扇停止时检查冷风扇电源果法启动请
更换
② 液冷电机请确认冷系统
③ 轴电机环境温度等规格值时请进行环境改善
(b) 请次确认加工条件

(2) 低负载发生报警情形（电机温度高）
(a) 加减速频度变化时
请包含加减速输出量均等额定值条件
(b) 电机固参数没正确设定
请参阅 FANUC AC SPINDLE MOTOR αiβi series 参数说明书
(B65280CM)确认电机固参数

(3) 电机温度低状态显示报警时
(a) 轴电机反馈电缆障
请更换反馈电缆
(b) 参数尚未正确设定
请参阅 FANUC AC SPINDLE MOTOR αiβi series 参数说明书
(B65280CM)确认电机固参数
FS0i βi 电机
4134 电机固参数
(b) 控制印制电路板障
更换控制印制电路板者 SVPM
(c) 电机（部温度传感器）障
请更换电机
3障排处理办法 βi SVPM 障排处理办法 B65325CM01

138
342 报警代码 02

电机速度指令速度较差异

(1) 电机加速中显示报警情形
(a) 加减速中时间参数设定值合理
设定参数时实际机床加／减速时间留余量
FS0i 容
4082 加减速中时间设定
(b) 速度检测器设定参数错误
请参阅 FANUC AC SPINDLE MOTOR αiβi series 参数说明书
(B65280CM)设定正确值

(2) 重切削时显示报警情形
(a) 切削负载超电机输出
请确认负载表显示重新评估条件
(b) 错误设定输出限制参数
请确认列参数机床电机规格否致
FS0i 容
4028 输出限制模式设定
4029 输出限制值
(c) 电机固参数没正确设定
请参阅 FANUC AC SPINDLE MOTOR αiβi series 参数说明书
(B65280CM)确认电机固参数


343 报警代码 06

温度传感器异常者温度传感器电缆断线

(1) 电机固参数没正确设定
请参阅 FANUC AC SPINDLE MOTOR αiβi series 参数说明书
(B65280CM)确认电机固参数

(2) 电缆障
反馈电缆障
请更换电缆

(3) 控制印制电路板障
请更换控制印制电路板者 SVPM

(4) 温度传感器异常
请更换电机（温度传感器）
B65325CM01 βi SVPM 障排处理办法 3障排处理办法
139
344 报警代码 07

电机超高转速 115(参数标准设定)旋转

(1) 轴步时发生情形
轴步程中关闭单侧电机励磁(SFRSRV)开时消
中间聚集位置误差轴电机加速达高转速报警
请修改梯形程序成序
(2) SVPM 障
请更换 SVPM


345 报警代码 09

SVPM 散热装置温度异常升

(1) 切削中显示报警情形（散热装置温度高）
(a) 负载表等放器连续额定发生报警时请确认散热装置冷
状态
① 检查冷风扇旋转冷风扇停止者转速异常降低时请更
换冷风扇
② 果环境温度超规格书规定请进行改善
(b) 果负载表等放器额定值工作报警发出请改善方
法
(c) 果放器背面散热装置部分灰尘较时请采吹风方式进行清
洁结构进行研究散热装置部分会直接接触切削油等

(2) 低负载发生报警情形（散热装置温度高）
(a) 频繁加／减速情形
请包含加减速时输出均设定等连续额定值条件
(b) 电机固参数没正确设定
请参阅 FANUC AC SPINDLE MOTOR αiβi series 参数说明书
(B65280CM)确认电机固参数

(3) 控制基板安装问题
请切实面板（连接控制基板功率基板连接器偏离时会发
出报警）

(4) 散热装置温度低状态显示报警情形
请更换 SVPM
3障排处理办法 βi SVPM 障排处理办法 B65325CM01

140
346 报警代码 12

电路电流
电路电源模件(IPM) 检测出异常异常容：电流者载

(1) 请报警代码 09 相容进行确认
(2) 控制基板安装问题
请切实面板（连接控制基板功率基板连接器偏离时会发
出报警）
(3) 刚刚输入轴转动指令发生报警时
(a) 电机动力线障
请确认电机动力线间短路接障必时更换动力线
(b) 电机绝缘层障
电机接障时请更换电机
(c) 电机固参数没正确设定
请参阅 FANUC AC SPINDLE MOTOR αiβi series 参数说明书
(B65280CM)确认电机固参数
(d) SＶPM 错误
功率元件(IPM)损坏
请更换 SＶPM
(4) 轴转动时报警
(a) 功率元件损坏
功率元件(IPM)损坏
请更换 SＶPM
没满足放器设置条件者散热装置部分污垢造成冷法
进行时功率元件损坏
果放器背面散热装置部分灰尘较时请采吹风方式进行清
洁结构进行研究散热装置部分会直接接触切削油等
关设置条件请参阅 FANUC SERVO AMPLIFIER βi series
Descriptions（规格说明书）（B65322EN）
(b) 电机固参数没正确设定
请参阅 FANUC AC SPINDLE MOTOR αiβi series 参数说明书
(B65280CM)确认电机固参数
(c) 速度传感器信号异常
确认轴传感器信号波形请异常时进行调整者更换检测部分
(d) 皮带滑
轴电机间皮带滑请清洁皮带轮重新安装皮带 B65325CM01 βi SVPM 障排处理办法 3障排处理办法
141
347 报警代码 15

仅输出切换控制者轴切换控制时会发出报警
SVPM 输出切换控制轴切换控制关

(1) 发生报警时障排方法
(a) 请进行输出切换控制轴切换控制
(b) SVPM 障
请更换 SVPM 者 SVPM 控制印制电路板

348 报警代码 18

数校验异常

发生报警时请更换 SVPM 者 SVPM 控制印制电路板

349 报警代码 19 20

U 相(报警代码 19)V 相(报警代码 20)电流检测电路偏移电压通电时进
行检测

发生报警时请更换 SＶPM发生刚更换 SＶPM 控制印制电路板时请确
认功率单元 SＶPM 控制印制电路板间连接器插入情况

3410 报警代码 21

位置传感器极性没正确

发生报警时障排方法
(a) 请确认位置传感器极性参数（No4001#4）
(b) 请确认位置传感器反馈电缆配线
3障排处理办法 βi SVPM 障排处理办法 B65325CM01

142
3411 报警代码 24

CNC SVPM 间串行通信数异常(注释)

报警时障排方法
(a) CNCSVPM 间(电缆连接)噪声导致通信数发生异常
请确认关配线长度条件
(b) 通信电缆动力线绑扎起时噪声影响
果电机动力线绑扎起部分请分绑扎
(c) 电缆障
请更换电缆
光口 IO 连接适配器时光口 IO 连接适配器光缆障
(d) SVPM 障
请更换 SVPM 者 SVPM 控制印制电路板
(e) CNC 障
请更换串行轴相关板者模件

注释
CNC 电源切断时会报警显示时属异常
B65325CM01 βi SVPM 障排处理办法 3障排处理办法
143
3412 报警代码 27

α位置编码器信号断线

(1) 电机励磁关闭时发生报警情形
(a) 参数设定误
请参阅 FANUC AC SPINDLE MOTOR αiβi series 参数说明书
(B65280CM)确认电机固参数
(b) 电缆断线
反馈电缆连接正确时更换电缆
(c) SVPM 障
请更换 SVPM 者 SVPM 控制印制电路板

(2) 触动电缆时发生报警情形
(a) 连接器接触良者断线
导线断线请更换电缆切削油侵入连接器部分时请进
行清洗

(3) 电机旋转时发生报警情形
(a) 传感器 SVPM 间电缆屏蔽处理存问题
请确认电缆屏蔽
(b) 伺服电机动力线绑扎起
果传感器 SVPM 间电缆伺服电机动力线绑扎起请分
绑扎



S
V
P
M
传
感
器
电缆夹连接机架
线
屏蔽线
α位置编码器 3障排处理办法 βi SVPM 障排处理办法 B65325CM01

144
3413 报警代码 29

定时间（标准设定 30 秒）持续施加负载（标准设定等
负载表 95V）

(1) 切削时发生报警情形
确认负载表研究切削条件

(2) 停止中发生报警情形
(a) 轴锁定
请确认程序否轴发出定指令极低速指令状态轴
锁定

(3) 指令旋转(极低速旋转)发生报警情形
(a) 参数设定误
请参阅 FANUC AC SPINDLE MOTOR αiβi series 参数说明书
(B65280CM)确认传感器设定参数
(b) 电机动力线相序错误
(c) 电机反馈电缆出错
请确认 AB 相信号否接反
(d) 电机反馈电缆障
请手动旋转电机确认否显示出 CNC 诊断画面电机速度者
轴检查板速度速度显示请更换电缆者轴传感器（
者电机）

(4) 指令旋转(完全旋转)发生报警情形
(a) 动力线异常
请确认电机动力线否正确连接
(b) SVPM 障
请更换 SVPM
B65325CM01 βi SVPM 障排处理办法 3障排处理办法
145
3414 报警代码 31

电机法指令速度旋转停止极低速旋转

(1) 极低速旋转时发生报警情形
(a) 参数设定误
请参阅 FANUC AC SPINDLE MOTOR αiβi series 参数说明书
(B65280CM)确认传感器设定参数
(b) 电机相序错误
请确认电机相序否误
(c) 电机反馈电缆错误
请确认 AB 相信号否接反
(d) 电机反馈电缆障
请手旋转电机确认 NC 诊断画面电机速度轴检查板
否显示速度没速度显示时请更换电缆轴传感器(电机)

(2) 完全旋转发生报警情形
(a) 锁定轴序误
请确认序否锁定轴
(b) 动力线障
请确认电机动力线连接否正确
(c) SVPM 障
请更换 SVPM

3415 报警代码 32

串行通信 LSI 存储器异常通电时进行检测

发生报警时请更换 SVPM 控制印制电路板

3416 报警代码 34

设定容许范围外参数数

发生报警时障排方法
请连接轴检查板
轴检查板交显示AL34FxxxFxxx表示越出容许范
围参数号关 CNC 参数号Fxxx应关系请参阅 FANUC AC
SPINDLE MOTOR αiβi series 参数说明书(B65280CM)
3障排处理办法 βi SVPM 障排处理办法 B65325CM01

146
3417 报警代码 36

错误计数器溢出

(1) 参数设定误
(a) 齿轮参数设定误
请确认齿轮数否错误设定数值
(b) 位置增益设定误
齿轮数正确时请提高位置增益数值

FS0i 容
4056～4059 轴电机齿轮数
4060～4063 定位时位置增益
4065～4068 伺服方式／轴步控制时位置增益
4069～4072 Cs 轮廓控制时位置增益

(2) 序错误
(a) 请位置控制方式确认电机励磁否关闭（SFRSRV 关闭）

3418 报警代码 37

输入急停信号电机减速反加速输入急停信号加／减速时间(参
数初始设 10 秒)电机励磁切断(减速未完成)时会发生

发生报警时障排方法
(a) 速度检测器参数设定误
请参阅 FANUC AC SPINDLE MOTOR αiβi series 参数说明书
(B65280CM)第 1 项设定正确值
(b) 加速减速中时间参数设定值合理
请确认参数设定值实际减速时间设定实际减速时间具余
量数值
FS0i 容
4082 加减速时间设定
B65325CM01 βi SVPM 障排处理办法 3障排处理办法
147
3419 报警代码 41

α位置编码器次旋转信号发生部位误

发生报警时障排方法
(a) 参数设定误
请参阅 FANUC AC SPINDLE MOTOR αiβi series 参数说明书
(B65280CM)确认传感器设定参数
(b) α位置编码器障
请观测位置编码器Ｚ信号转动１圈没产生信号时更换位置
编码器
(c) 传感器 SVPM 间电缆屏蔽处理
请确认电缆屏蔽处理
(d) 伺服电机动力线绑扎起
果传感器 SVPM 间电缆伺服电机动力线绑扎起请分
绑扎
(e) SVPM 障
请更换 SVPM 者 SVPM 控制印制电路板

3420 报警代码 42

系统会发生α位置编码器次旋转信号

发生报警时障排方法
(a) 参数设定误
请参阅 FANUC AC SPINDLE MOTOR αiβi series 参数说明书
(B65280CM)确认传感器设定参数
(b) α位置编码器障
请观察轴检查板止动销 PSD果转动 1 圈发出信号
更换连接电缆位置编码器
(c) SVPM 障
请更换 SVPM 者 SVPM 控制印制电路板

3421 报警代码 46

螺纹切削操作时尚未正确检测出位置检测器次旋转信号

关报警障排方法请参阅报警代码 41


S
V
P
M
传
感
器
电缆夹连接机架
线
屏蔽线
α位置编码器 3障排处理办法 βi SVPM 障排处理办法 B65325CM01

148
3422 报警代码 47

α位置编码器信号脉计数值异常

位置编码器 AB 相轴转动 1 圈产生 4096prev 反馈脉数SVPM
次产生次旋转信号时检测位置编码器 AB 相脉计数数该值超
出规定范围时会发生报警

(1) 触动电缆时（轴移动等）发生报警情形
导线断裂请更换导线请清洗干净侵入连接器部切削油

(2) 情形时障排方法
(a) 参数设定误
请参阅 FANUC AC SPINDLE MOTOR αiβi series 参数说明书
(B65280CM)确认传感器设定参数
(b) 传感器 SＶPM 间电缆屏蔽处理存问题
请确认电缆屏蔽处理
(c) 伺服电机动力线绑扎起
果传感器 SVPM 间电缆伺服电机动力线绑扎起请分
绑扎
(d) SVPM 障
请更换 SVPM 者 SVPM 控制印制电路板

3423 报警代码 50

轴步控制时部计算处理超容许值

发生报警时障排方法
(a) 齿轮参数设定误
请确认齿轮数否错误设定数值
(b) 位置增益设定极限
齿轮数正确时请降低轴步时位置增益数值

FS0i 容
4056～4059 轴电机齿轮数
4065～4068
伺服模式／轴步控制
位置增益


S
V
P
M
传
感
器
电缆夹连接机架
线
屏蔽线
α位置编码器 B65325CM01 βi SVPM 障排处理办法 3障排处理办法
149
3424 报警代码 5253

CNC 间通信数中步信号(ITP)停止

发生报警时障排方法
(a) SVPM 障
请更换 SVPM 者 SVPM 控制印制电路板
(b) CNC 障
请更换串行轴相关板者模件

3425 报警代码 54

检测出电机长时间流电流

关报警障排方法请参阅报警代码 29 项目

3426 报警代码 73

电机传感器信号切断

(1) 电机励磁关闭时发生报警情形
(a) 参数设定误
请参阅 FANUC AC SPINDLE MOTOR αiβi series 参数说明书
(B65280CM)确认传感器设定参数
(b) 电缆断线
请更换电缆
(c) 传感器调整误
请调整传感器信号法调整者信号观测时请更换连接电缆
传感器
(d) SVPM 障
请更换 SVPM 者 SVPM 控制印制电路板

(2) 触动电缆时（轴移动等）发生报警情形
导线断裂请更换导线请清洗干净侵入连接器部切削油

(3) 电机旋转时发生报警情形
(a) 传感器 SVPM 间电缆屏蔽处理存问题
请确认电缆屏蔽处理
(b) 伺服电机动力线绑扎起
果传感器 SVPM 间电缆伺服电机动力线绑扎起请分
绑扎


S
V
P
M
传
感
器
传感器连接
规格书中
述插脚
SVPM
连接 10
号插脚

屏蔽线
ＭＺi 传感器 3障排处理办法 βi SVPM 障排处理办法 B65325CM01

150
3427 报警代码 75

控制程序传送处理检测出异常

发生报警时障排方法
(a) SVPM 障
请更换 SVPM 者 SVPM 控制印制电路板

3428 报警代码 79

控制程序初始化处理异常

发生报警时障排方法
(a) SVPM 障
请更换 SVPM 者 SVPM 控制印制电路板

3429 报警代码 81

电机传感器次旋转信号发生部位误

(1) 外部次旋转信号情形
(a) 参数误
请确认齿轮数否机床规格致
FS0i 容
4171
4173
电机传感器轴间意齿轮分母
4172
4174
电机传感器轴间意齿轮分子

(b) 轴电机间滑动
请确认轴电机间滑动外部次旋转信号法适 V 皮带
连接

(2) 情形障排方法
(a) 参数设定误
请参阅 FANUC AC SPINDLE MOTOR αiβi series 参数说明书
(B65280CM)确认传感器设定参数
(b) 传感器调整误(MZi 传感器)
请调整传感器信号法调整时信号观测时请更换连接电缆
传感器
(c) 传感器 SVPM 间电缆屏蔽处理存问题
请确认电缆屏蔽处理

S
V
P
M
传
感
器
传感器端连
接规格书中
述插脚

SVPM
端连接
10 号插脚

屏蔽线
MZi 传感器 B65325CM01 βi SVPM 障排处理办法 3障排处理办法
151
(d) 伺服电机动力线绑扎起
果传感器 SVPM 间电缆伺服电机动力线绑扎起请分
绑扎
(e) SVPM 障
请更换 SVPM 者 SVPM 控制印制电路板

3430 报警代码 82

会产生电机传感器次旋转信号

报警障检测
(a) 参数设定误
请参阅 FANUC AC SPINDLE MOTOR αiβi series 参数说明书
(B65280CM)确认传感器设定参数
(b) 传感器调整误(MZi 传感器)
请调整传感器信号法调整时信号观测时请更换连接电缆传感
器
(c) 外部次旋转信号错误
请观测轴检查板止动销 EXTSC1次转动时果没产生信号
更换连接电缆接开关
(d) SVPM 障
请更换 SVPM 者 SVPM 控制印制电路板

3431 报警代码 83

SVPM 产生次旋转信号时检查 AB 相脉计数果规定范
围发生报警

(1) 触动电缆时（轴移动等）发生报警情形
导线断线请更换电缆切削油侵入连接器部分时请进行清洗

(2) 情形障排方法
(a) 参数设定误
请参阅 FANUC AC SPINDLE MOTOR αiβi series 参数说明书
(B65280CM)确认传感器设定参数
(b) 传感器调整误（MZi 传感器）
请调整传感器信号法调整时信号观测时请更换连接电缆
传感器
(c) 传感器 SVPM 间电缆屏蔽处理存问题
请确认电缆屏蔽处理
(d) 伺服电机动力线绑扎起
果传感器 SPM 间电缆伺服电机动力线绑扎起请分
绑扎

S
V
P
M
传
感
器
传感器端连
接规格书
载插脚

SVPM 端
连接 10 号
插脚
屏蔽线
ＭＺi 传感器 3障排处理办法 βi SVPM 障排处理办法 B65325CM01

152
(e) SVPM 障
请更换 SVPM 者 SVPM 控制印制电路板

3432 报警代码 84

轴传感器信号断线
关报警障排方法请参阅报警代码 73 项

3433 报警代码 85

轴传感器次旋转信号发生部位误
关报警障排方法请参阅报警代码 81 项

3434 报警代码 86

轴传感器会产生次旋转信号
关报警障排方法请参阅报警代码 82 项

3435 报警代码 87

轴传感器信号异常
关报警障排方法请参阅报警代码 83 项

3436 报警代码 A A1A2

控制程序尚未进入工作状态
控制程序处理中检测出异常

(1) 轴放器通电时显示报警情形
(a) 软件规格
(b) 印制电路板障
请更换 SVPM 者 SVPM 控制印制电路板

(2) 电机励磁中发生报警情形
(a) 噪声影响
请检查线相关布线
果轴传感器信号电缆伺服电机动力线绑扎起请分绑
扎
B65325CM01 βi SVPM 障排处理办法 3障排处理办法
153
3437 报警代码 C0C1C2

CNC 轴放器模件间串行通信数异常

发生报警时障排方法
(a) SVPM 障
请更换 SVPM 者 SVPM 控制印制电路板
(b) CNC 障
请更换串行轴相关板者模件

3438 报警代码 35

位置编码器计算出电机速度轴软件推测电机速度较差异

(1) 输入旋转指令时发生报警情形
(a) 位置编码器设定参数误
请正确输入位置编码器轴旋转方轴电机旋转方相关
位
FS0i 容
4000#0 轴轴电机旋转方
4001#4 轴传感器（位置编码器）安装方

(b) 齿轮参数设定误
请确认齿轮数否正确
根数值进行位置编码器电机速度换算请务必设定正确
值
FS0i 容
4056∼4059 轴电机齿轮数

(c) 咬合／齿轮信号错误
请确认应实际齿轮选择状态否输入正确咬合／齿轮信号
(CTH1ACTH2A)
0i #7 #6 #5 #4 #3 #2 #1 #0
第 1 轴 G070 CTH1A CTH2A

(d) 轴轴电机间皮带滑
请进行调整轴轴电机间皮带滑

(2) 切削时发生报警情形
负载电机速度降低
请重新评估切削条件4保险丝印制电路板等更换方法 βi SVPM 障排处理办法 B65325CM01

154
4 保险丝印制电路板等更换方法

警告
更换保险丝印制电路板时务须确认充电显示ＬＥＤ（红）已熄灭

更换 SVPM 保险丝印制电路板等时参阅页提相关步骤进行

注释
1 保险丝断线时认连接 SVPM 设备（传感器等）
电源短路造成
请确认设备没异常进行更换
没排原情形导致保险丝次断线
2 请非 FANUC 公司供保险丝
3 保险丝印制电路板标示机床盖章标示注意弄
错额定值
B65325CM01 βi SVPM 障排处理办法 4保险丝印制电路板等更换方法
155
41 保险丝印制电路板更换方法

SVPM 伺服放器正面拆印制电路板


















保险丝规格
记号 图号
FU1 A60L00010290LM32C

拧掉螺丝

拉前
印制电路板
FU2 (2A)

更换保险丝时注意保险丝规格
请保险丝切实插入保险丝插口

更换印制电路板时请螺丝切实拧紧
连接器接触良导致意外障发生











V 电机维护 B65325CM01 电机维护 1伺服电机维护
159
1 伺服电机维护

βiS 系列伺服电机般存磨耗部分没必 DC 伺服电机样电
刷等部件进行定期维护
伺服电机够更利防障未然建议户定期进行维
护伺服电机设置精密检测器错误操作输送组装时造成损
伤会导致障事发生建议户参阅列项目设备进行定期检查
1伺服电机维护 电机维护 B65325CM01
160
11 伺服电机购入保

购入伺服电机请确认项目：

·电机规格否正确？（型号轴检测器规格）
·否运输中损坏？

公司出货时已货品进行严密检查货时原须检验
请电机放置室保存温度－20℃～60℃应量避免放置场：

·极度潮湿易结露场
·温度变化异常场
·时常处振动场（造成轴承座损坏）
·拉基灰尘较场
B65325CM01 电机维护 1伺服电机维护
161
12 伺服电机日常检测

请运行前者定期（周者月次）进行列检查

(1) 振动噪音检查
列状态请触摸方式确认异常振动通耳朵确认异常
噪音
·停止时
·低速运行时
·加减速时
果感异常烦请公司服务部门联系




(2) 外部损伤检查
确认脉编码器封盖（红色塑料部分）否开裂电机表面否损伤龟
裂现象
果脉编码器盖板出现开裂请时更换更换步骤请参阅 14 节脉编
码器更换更换时果出现疑难问题请时公司服务部门联系
外电机表面损伤龟裂等现象户应根情况予修理油漆
脱落部分干燥建议聚氨酯等机床涂料进行部分涂装（者
全面涂装）



脉编码器盖板破裂已出现裂
痕应立更换脉编码器 1伺服电机维护 电机维护 B65325CM01
162
(3) 污垢检查
请确认电机表面螺丝部分等凹陷处否留油迹者切削油
请擦附着表面油迹者切削油化学反应侵蚀涂膜层
导致设备障
请根情况调查流电机路径




(4) 发热状态检测
电机正常运行中否热？
请电机表面粘贴热标签通肉眼确认通常运行循环中否处度
发热状态
注意：根运行条件电机表面温度达 80℃请勿手触摸




粘贴热标签进行目视
检查
定期清理电机表面粘附
油污B65325CM01 电机维护 1伺服电机维护
163
13 伺服电机定期检查

建议户少年进行次列检查：

(1) 扭矩指令（TCMD）波形速度指令（VCMD）波形观测
示波器事先测量正常电压波形定期检查时波形相较
波形根负载状态进速度出现差异建议常相条件
进行较（参考点返回时快速移动慢速移动传输波形相较）
测定方法请参阅 FANUC AC SERVO MOTOR αiSαiβiS series 参数说明书
(B65270CM)中关伺服检查板方法项目

(2) 诊断波形
请根列项目检测测定波形异常

① 快速移动加减速时峰值电流否超出放器电流限制值？
（TCMD）
放器电流限制值表 1 示放器电流限制电流流时表示
限制值 444Ｖ（型号通）



Ö然前限制电流值进行加减速……
（然加减速扭矩足够……）
种情形原：
·机床系统负载条件发生变化
（长年摩擦机床效率降低）
测定波形（TCMD）
0
伺服电流限制值 1伺服电机维护 电机维护 B65325CM01
164
·电机异常



[表 1]
型号名 电流值
β025000iS β035000iS 4Ap
β045000iS β055000iS β15000iS β24000iS
β44000iS β83000iS
20Ap
β123000iS β222000iS 40Ap

② 恒定速度进时波形否存波动？（VCMD）



③ 停止时波形否存波动（否跳动）？(VCMD)

出现述①～③项异常时请公司服务部门联系

摩擦增加
效率降低
测定波形
波动
波动
测定波形 B65325CM01 电机维护 1伺服电机维护
165
(3) 绕组电阻绝缘电阻测定
请测量绕组电阻绝缘电阻
度检查（耐压测试等）导致绕组损伤绕组电阻值相关
容请参阅 FANUC AC SERVO MOTOR βiS series Descriptions （规格说
明书）(B65302EN)者公司联系绝缘电阻值请参阅表

电机绝缘电阻测定
根标准兆欧测量仪器(DC500V)测定绕组~机架间绝缘
电阻

绝缘电阻值 判定
等
100MΩ
良
10～100MΩ 开始老化然会造成性问题请定
期检查
1～10MΩ 老化进步加剧需特注意请定期检查
足 1MΩ 良请更换电机

注释
绝缘电阻值短时间急剧降低时判定外部切削
液进入体部造成请反复确认防水滴环境（见 FANUC
AC SERVO MOTOR βiS series Descriptions (规格说明书)
(B65302EN) Ⅰ21 USE ENVIRONMENT FOR SERVO
MOTORS (伺服电机环境)）
1伺服电机维护 电机维护 B65325CM01
166
14 脉编码器更换

面介绍假定脉编码器出现障现场进行修复时更换脉编码器方
法
脉编码器电机属精密设备操作时请轻轻放注意脉编码
器附着粉尘垃圾

① 取 4 固定脉编码器 M4 六角螺栓须拧脉编码器盖板
M3 螺栓












② 拆脉编码器欧氏联轴节



欧氏联轴节
Oldham’s coupling (female)
脉编码器盖板固定螺栓 Ｍ３
Pulsecoder Cover fastening screws
M3
脉编码器固定螺栓 Ｍ4
Pulsecoder fastening screws M4
×拧松
×Do not loosen
○卸
○Remove
脉编码器
Pulsecoder B65325CM01 电机维护 1伺服电机维护
167
③ 电机安装新脉编码器欧氏联轴节着欧氏联轴节接头欧氏联
轴节方啮合
脉编码器推入直Ｏ形环进入电机定心接口脉编码器定心接
口间时注意安装脉编码器Ｏ形环咬入















④ 4 根 M4 六角螺栓固定脉编码器


欧氏联轴节
Oldham’s coupling (female)
欧氏联轴接接头
Oldham’s coupling (male)
Ｏ形环
O ring
六角螺栓 Ｍ４
Screws M4 1伺服电机维护 电机维护 B65325CM01
168
15 更换部件规格型号

面列出维护备货规格型号

(1) 脉编码器规格
A8602020T301 β128iA

(2) 欧氏联轴节
A2900501V535


B65325CM01 电机维护 2轴电机维护
169
2 轴电机维护
2轴电机维护 电机维护 B65325CM01
170
21 维护检查

电机够长期保持高性高稳定性必须进行列维护检查

(1)基目测检查
注意
维护检查时注意触电事卷入事特进行操作时必
须先切断全部电源

检查项目 状况 处理办法
异常响声
异常振动
出现前没异
常响声振动
高转速电机振动
加速度超 05G
确认列项目采取相应处理办法
基座安装
直接连接定心精度
电机轴承异常响声
（见列电机轴承项）
减速机皮带振动响声
放器异常响声
风扇电机异常
（见列风扇电机项）
冷风通道
冷风通道沾粉尘
者油污
请定期清扫定子孔风扇电机
电机表面 电机表面沾切削液
·进行清扫
·电机表面溅量切削液时请盖罩覆盖起
手转动风扇电机时 更换风扇电机
正常旋转
手转动风扇电机时
清异物者重新紧固螺丝通
述处理然出现异常响声
时请更换风扇电机
风扇电机
出现异常响声
清异物者重新螺丝安装
通述处理然出现异常响声时请更换风扇电机
电机轴承
电机轴承出现异常响
声
确认轴承更换定心精度径载荷
更换轴承时请通知公司
端子箱进入切削液
检查端子箱盖道密封圈等
端子箱需量切削液时请盖罩覆盖起 端子箱部状况
端子台螺丝松动
·紧固螺丝
·电机旋转时确认否异常振动
B65325CM01 电机维护 2轴电机维护
171
(2) 绕组框架间绝缘确认
兆欧表测量 DC500V 绝缘电阻
请通检测结果判断绝缘效果坏
等１００MΩ ：良
１０～１００ＭΩ ：开始老化性出现问题需定期检查
１～１０ＭΩ ：老化现象进步加剧特必需引起注意务须进行定
期检查
足１ＭΩ ：良请更换电机

注释
1 测量绝缘电阻时请拆放器间配线状态进行
果连接状态测量绝缘电阻导致放器损坏
2 测量绝缘电阻时果电机处通电状态反会导致电机绝缘层老
化
请短时间完成绝缘电阻测量
2轴电机维护 电机维护 B65325CM01
172
22 维护部件

(1) 端子箱图号
型号 端子箱组件 端子箱盖
β310000iβ610000i A2901404T400 A2900853V410
β88000iβ127000i A2901406T400 A2900854V410

(2) 风扇电机部件
型号 风扇盖罩(*) 风扇电机 排气方
A2901404T500 A90L00010514R 方
β310000iβ610000i
A2901404T501 A90L00010514F 前方
A2901406T500 A90L00010515R 方
β88000iβ127000i
A2901406T501 A90L00010515F 前方


B65325CM01 电机维护 2轴电机维护
173
23 容许径载荷

(1) βi 系列
关电机输出轴端应表示等容许径载荷范围
径载荷范围 型号
输出轴端 输出轴中央
β310000i 882N (90kgf) 999N (102kgf)
β610000i 1470N (150kgf) 1607N (164kgf)
β88000i 1960N (200kgf) 2205N (225kgf)
β127000i 2940N (300kgf) 3371N (344kgf)

注释
1 皮带时请参阅述容许值进行张力调整超出述容许值时
确保长期稳定请考虑机床端设置支承轴承（超出容许
值时会产生异常响声）
2 皮带张力中心果偏离输出轴端容许载荷会输出轴前端
值
3 果斜齿齿轮推力方施加载荷轴推力方移动
原推力方施加载荷

B65325CM01 索引

i1
索引
<符号>
βiSVPM65
<Ｂ>
保护线连接9
保险丝实际安装位置55
保险丝印制电路板更换方法 53 155
保险丝印制电路板等更换方法 52 154
报警代码 01137
报警代码 02138
报警代码 06138
报警代码 07139
报警代码 09139
报警代码 12140
报警代码 15141
报警代码 18141
报警代码 19 20141
报警代码 21141
报警代码 24142
报警代码 27143
报警代码 29144
报警代码 31145
报警代码 32145
报警代码 34145
报警代码 35153
报警代码 36146
报警代码 37146
报警代码 41147
报警代码 42147
报警代码 46147
报警代码 47148
报警代码 50148
报警代码 5253149
报警代码 54149
报警代码 73149
报警代码 75150
报警代码 79150
报警代码 81150
报警代码 82151
报警代码 83151
报警代码 84152
报警代码 85 152
报警代码 86 152
报警代码 87 152
报警代码 A A1A2152
报警代码 C0C1C2 153
报警显示容 32 114
变频器 ＩＰＭ报警 39
变频器 ＩＰＭ报警（ＯＨ） 40
变频器 电机电流异常 40
变频器 部冷风扇停止 38
变频器 散热器冷风扇停止 39
变频器 FSSB 通信异常 41
<Ｃ>
参数初始设定 11 69
参数确认方法 94
操作确认方法 12 70
超程振荡时 79
初始设定（开关虚拟连接器） 10
错误状态显示功 80
<Ｄ>
电磁接触器法开启时确认 75
电机运行时 77
电机电流数值检测方法 16
电源连接9 68
电源电压容量检查 68
电源电压容量确认 9
<Ｆ>
反馈断线报警 46 131
反馈信号波形确认 81
非切削时轴产生振动发出噪音时 78
风扇电机更换方法 56
<Ｇ>
概述85 94 95
概3 31 61 113
更换部件规格型号 168
构成4 5 62 63
障排处理办法 35 119
观测电机电流值方法 100 索引 B65325CM01

i2
观测方法86
观测数设定方法86
关 SVPM 定期检查 110
关 STATUS１显示76
关址容初始值(SVPM)87
关伺服放器定期检查27
热报警47 132
载报警（软发热OVC）45 130
<Ｊ>
基 SERVO GUIDE（伺服导）数观测95
基轴检查板参数确认方法 94
基轴检查板数观测方法 85
检查端子输出信号84
接保护连接68
绝脉编码器电池20 104
<Ｋ>
系列版95
通 SERVO GUIDE 观测轴数列表 95
<Ｌ>
连接器 STATUS（状态）显示 LED 构成71
漏电电流断电器选择9
漏泄电流漏电断路器选择68
<Ｍ>
Mi 传感器MZi 传感器82
脉编码器更换166
<Ｎ>
NC 画面显示 VRDYOFF 报警时 15
NC 显示 VRDYOFF 报警时99
部风扇电机情形 SVM140iSVM180i 57
部风扇电机情形 SVM14iSVM120i 56
<Ｑ>
报警50 135
启动步骤7 66 72
启动时步骤（概）8 67
启动时障排77
前言p1
切削力降加减速时间较长时79
确认步骤13
<Ｒ>
容许径载荷173
<Ｓ>
Series 15i 情形 33
Series 16i 18i 20i 21i 0i Power Mate i 情形 34
STATUS 显示 LED 灯亮时确认 74
STATUS1 报警代码 ０４ 122
STATUS1 报警代码 １１ 122
STATUS1 报警代码 ３０ 120
STATUS1 报警代码 ３３ 121
STATUS1 报警代码 ５１ 121
STATUS1 报警代码 ５８ 120
STATUS1 报警代码 ５９ 120
STATUS1 报警代码 ｂ１ 121
STATUS１显示总闪烁－－ 77
STATUS2 报警代码 － 120 121 122
STATUS2 报警代码 2 124
STATUS2 报警代码 5 124
STATUS2 报警代码 6 124
STATUS2 报警代码 8 9 A 125
STATUS2 报警代码 b c d 126
STATUS2 报警代码 P124
STATUS2 报警代码 U 127
STATUS2 显示确认 98
SVPM 定期维护103
SVPM 概 71
SVPM 伺服部分 98
SVPM 轴部分 76
SVPM 转换器部分 73
数观测例93 97
数号列表 91
伺服报警33 34 115
伺服部分123
伺服参数设定非法报警 47 132
伺服电机定期检查 163
伺服电机购入保 160
伺服电机日常检测 161
伺服电机维护 159
伺服放器定期维护 19
伺服放器模件 6 13 36 42
伺服软件42 128
伺服调整画面 42 128
伺服轴通部分 120
<Ｗ>
外部风扇电机 58
维护部件172 B65325CM01 索引

i3
维护检查170
安全 s1
<Ｙ>
印制电路板检查端子73
印制电路板图形编号54
脉编码分离式串行检测器相关报警 133
脉编码器分离式串行检测器相关报警 48
<Ｚ>
诊断画面44 129
轴部137
构成素6 65
特性85
轴报警117
轴电机维护169
轴检查板83
轴检查板连接83
轴检查板规格图号83
轴控制信号轴状态信号96
轴部数输出方式操作原理说明 88
转换器 ＤＣ链路部电压低37
转换器 ＤＣ链路部电压37
转换器 减速电力37
转换器 控制电源电压低38
转速指令时78































说明书改版履历
FANUC AC SERVO MOTOR βis series AC SPINDLE MOTOR βi series SERVO AMPLIFIER βi series 维修说明书 (B65325CM)





























01 2004 年 9 月 ＿＿＿＿ ＿ ＿＿＿＿ ＿ ＿＿＿＿ ＿ ＿＿＿＿ ＿ ＿






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