电子束炉熔炼多晶硅除硼和铁杂质的研究ppt
侯宝峰:电子束炉熔炼多晶硅除硼和铁杂质的研究 实验研究 取三批硅料,分别编方案 1#,方案 2# 和方案 3#。方 案 1# 料不进行增氧预处理,直接进入电子束炉中熔 炼;方案 2# 料进行如下试验:将硅块料放入高温电 阻炉内,以5℃
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