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摘要：为去除多晶硅中的 B 和 Fe 元素，人们必须对硅原料进行高温增氧预处理，在熔炼坩埚中敷设两块叠放的高纯 SiC 板，对其进行电子束炉熔炼提纯。研究表明，对粒径小于 25 mm 块状硅料进行增氧预处理和电子束炉熔炼提纯后，B、Fe 杂质元素明显降低，B 和 Fe 去除率分别可达 99.25% 和 99.7%；在熔炼坩埚中敷设两块叠放的高纯 SiC 板，可以明显提高 B、P 的去除率，降低熔炼能耗，熔炼直接能耗为 20 kW·h/kg；而对硅块料增氧预处理，硅熔炼的挥发损失较大。

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