电子束炉熔炼多晶硅除硼和铁杂质的研究ppt
摘要:为去除多晶硅中的 B 和 Fe 元素,人们必须对硅原料进行高温增氧预处理,在熔炼坩埚中敷设两块叠放的高纯 SiC 板,对其进行电子束炉熔炼提纯。研究表明,对粒径小于 25 mm 块状硅料进行增氧预处理和电子束炉熔炼提纯后,B、Fe 杂质元素明显降低,B 和 Fe 去除率分别可达 99.25% 和 99.7%;在熔炼坩埚中敷设两块叠放的高纯 SiC 板,可以明显提高 B、P 的去除率,降低熔炼能耗,熔炼直接能耗为 20 kW·h/kg;而对硅块料增氧预处理,硅熔炼的挥发损失较大。